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고온초전도체 기술 개발;고온초전도 IR 및 mm파 센서 제작
Development of High Tc Superconductivity Technology;A Study on the High Tc Superconductor IR and mm wave sensor 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국과학기술원
Korea Advanced Institute of Science and Technology
연구책임자 박종철
참여연구자 김호기 , 노광수 , 염도준 , 장건익 , 김호인 , 신우석 , 오상준
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월1993-10
주관부처 과학기술부
사업 관리 기관 한국과학기술원
Korea Advanced Institute of Science and Technology
등록번호 TRKO200200006970
DB 구축일자 2013-04-18
키워드 화학증착법.이트륨바륨구리 산화물 고온초전도체 박막.마이크로파에서 mm파에 이르는 광대역 검지기.Natural Grain Boundary Junction.MOCVD.YBa/sub 2/Cu/sub 3/O/sub 7-x/ Superconductor.Thin Film.Josephson Junction.Proximity Effect.SNS Josephson Junction.

초록 ▼

Hotwall Type Tube Furnace를 이용한 Metal Organic Chemical Vapor Deposition으로 양질의 Y-B-C-O계, Bi-Sr-Ca-Cu-O계의 고온초전도 박막을 얻을 수 있었다. 이중 YBCO계의 박막은 Weak Link Josephson Junction을 이용한 전자기파 검지소자로 활용하기 위하여 미세가공하였다. 다단계 미세 공정을 거쳐 만들어진 검지소자는 마이크로파 반응을 측정하기 위한 측정장치로 제작되었으며 이를 통하여 검지소자가 조셉슨 접합을 갖는 소자임을 여러가지 현상을 통해 증명하

목차 Contents

  • Part I. BSCCO 고온 초전도 박막의 조셉슨 접합을 이용한 mm파 센서 제작...13
  • 제1장 서론...13
  • 제2장 실험방법...15
  • 제1절 장치 및 실험 방법...15
  • 제2절 증착층의 특성 조사...20
  • 제3절 물성 측정...20
  • 제3장 결과 및 고찰...21
  • 제1절 증착 온도에 따른 증착 박막의 상형성 거동변화...21
  • 제2절 Source 증발 온도에 따른 증착 박막의 상형성 거동 변화...24
  • 제3절 증착 기판에 따른 증착 박막의 물성 변화...28
  • 제4절 Annealing 처리에 따른 초전도 박막의 임계 온도 증가...34
  • 제4장 결론...36
  • Reference...37
  • PART II : YBCO 고온 초전도 박막의 조셉슨 접합을 이용한 mm파 센서 제작...38
  • 제1장 서론...38
  • 제2장 실험 방법...39
  • 제1절 장치 및 실험 방법...39
  • 제2절 증착박막의 특성조사...43
  • 제3절 검지소자의 제조...44
  • 제3장 연구 결과 및 고찰...50
  • 제1절 YBCO 박막의 특성 조사...50
  • 제2절 소자 특성 측정 및 분석...50
  • 제3절 박막제어에 따른 검지특성 변화...60
  • 제4장 결론...65
  • Reference...66
  • PART III : YBCO 고온 초전도 다층박막을 이용한 SIS 조셉슨 접합 제작을 위한 기초연구...67
  • 제1장 서론...67
  • 제2장 연구방법과 실험결과...71
  • 제1절 coherence length 문제와 proximity효과...71
  • 제2절 Ag와 YBCO의 접합...80
  • 제3절 부도체막형성과 온도조건에 관하여...80

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참고문헌 (25)

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