최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국과학기술원 Korea Advanced Institute of Science and Technology |
---|---|
연구책임자 | 박종철 |
참여연구자 | 김호기 , 노광수 , 염도준 , 장건익 , 김호인 , 신우석 , 오상준 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 1993-10 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국과학기술원 Korea Advanced Institute of Science and Technology |
등록번호 | TRKO200200006970 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 화학증착법.이트륨바륨구리 산화물 고온초전도체 박막.마이크로파에서 mm파에 이르는 광대역 검지기.Natural Grain Boundary Junction.MOCVD.YBa/sub 2/Cu/sub 3/O/sub 7-x/ Superconductor.Thin Film.Josephson Junction.Proximity Effect.SNS Josephson Junction. |
Hotwall Type Tube Furnace를 이용한 Metal Organic Chemical Vapor Deposition으로 양질의 Y-B-C-O계, Bi-Sr-Ca-Cu-O계의 고온초전도 박막을 얻을 수 있었다. 이중 YBCO계의 박막은 Weak Link Josephson Junction을 이용한 전자기파 검지소자로 활용하기 위하여 미세가공하였다. 다단계 미세 공정을 거쳐 만들어진 검지소자는 마이크로파 반응을 측정하기 위한 측정장치로 제작되었으며 이를 통하여 검지소자가 조셉슨 접합을 갖는 소자임을 여러가지 현상을 통해 증명하
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.