초록 ▼

본 연구의 주된 목적은 다이아몬드상 카본필름이 코팅된 VCR head drum의 개발이지만 연구의 내용은 아래의 3 부분으로 나누어져 있다. 이러한 연구의 동기는 필름의 구조 및 특성에 미치는 합성변수의 영향을 체계적으로 조절하므로써, 향후 다른 응용분야에서 활용하고자 하는 것이다. 따라서 본 보고서도 3 부로 구성되어 있다.
1. 2차년도의 연구를 바탕으로 하여 배치당 204대의 상위드럼을 동시에 코팅할 수 있는 합성장비 및 기술을 개발하고 소규모 생산을 구현
2. 고주파와 직류의 복합 플라즈마에 의해 합성된 다이아몬드

본 연구의 주된 목적은 다이아몬드상 카본필름이 코팅된 VCR head drum의 개발이지만 연구의 내용은 아래의 3 부분으로 나누어져 있다. 이러한 연구의 동기는 필름의 구조 및 특성에 미치는 합성변수의 영향을 체계적으로 조절하므로써, 향후 다른 응용분야에서 활용하고자 하는 것이다. 따라서 본 보고서도 3 부로 구성되어 있다.
1. 2차년도의 연구를 바탕으로 하여 배치당 204대의 상위드럼을 동시에 코팅할 수 있는 합성장비 및 기술을 개발하고 소규모 생산을 구현
2. 고주파와 직류의 복합 플라즈마에 의해 합성된 다이아몬드상 카본필름의 특성변화에 관한 기초연구
3. 다이아몬드상 카본필름의 구조 및 특성에 중요한 역할을 하는 이온의 에너지를 체계적으로 제어할 수 있는 이온빔 합성 장치의 안정화 및 필름이 특성에 미치는 이온 에너지의 영향 연구

Abstract ▼

Although the main objective of the present work is to develope the DLC coated VCR head drum, the scope of this work can be devided in 3 parts.
The motive of latter 2 parts is to apply the technology to other applications by investigating the effects of process parameters on the structure and pro

Although the main objective of the present work is to develope the DLC coated VCR head drum, the scope of this work can be devided in 3 parts.
The motive of latter 2 parts is to apply the technology to other applications by investigating the effects of process parameters on the structure and properties of DLC films. Consequently, this report consists of 3 parts.
1. Development of the pilot scale deposition equipment that can coat 204 upper drums in one batches and related technologies.
2. Basic study on the diamond-like carbon films deposited from a plasma generated by combined HF and DC.
3. Stabilization of direct ion beam deposition equipment and study on the ion energy effects on the film properties.

목차 Contents

• 제1부 DLC 코팅 VCR헤드드럼용 pilot scale합성장비...21
• 제1장 1,2차년도 연구의 결과와 그 의미...23
• 제2장 pilot장비의 설계 개념 및 상세...25
• 제1절 설계 개념...25
• 제2절 합성장비 및 전극의 구성...28
• 제3절 시편지지부...32
• 제4절 pilot 장비의 설치 및 가동...34
• 제3장 접착력 증진에 미치는 전처리 효과...38
• 제4장 pilot 장비에 의해 코팅된 드럼의 특성...45
• 제1절 실험방법...45
• 제2절 합성속도 및 경도...47
• 제3절 DLC 필름이 코팅된 드럼의 내마모 윤활특성...50
• 제5장 결언...64
• 참고문헌...65
• 제2부 250KHz 고주파와 직류 복합 플라즈마 CVD에 의한 다이아몬드상 카본 필름의 합성...67
• 제1장 서론...69
• 제2장 고주파 PACVD합성장비...71
• 제3장 DLC필름의 접착력 증진...78
• 제4장 DLC필름의 합성...80
• 제5장 DLC필름의 합성 거동...83
• 제1절 합성속도...83
• 제2절 필름의 원자 결합 구조...85
• 제3절 필름의 조성...90
• 제4절 필름의 경도...93
• 제5절 필름의 내부 응력...95
• 제6절 직류 전원의 영향...102
• 제6장 결론...106
• 참고문헌...107
• 제3부 이온빔 증착법에 의한 다이아몬드상 카본필름의 합성...109
• 제1장 이온빔 시스템의 제작 및 조작...111
• 제1절 이온빔 증착 시스템의 제작...111
• 제2절 Kaufman형 이온총의 조작...113
• 제3절 이온빔 전류밀도의 측정...120
• 제4절 이온총의 관리...130
• 제2장 Diamondlike Carbon Film의 합성 및 특성 평가...131
• 제1절 Direct Ion Beam Deposition 에 의한 DLC의 제작...131
• 제2절 박막의 두께 및 잔류응력 측정...134
• 제3절 Plasmon Loss Spectra에 의한 분석...139
• 제4절 FTIR에 의한 특성 조사...143
• 제5절 결론...146
• 참고문헌...149
• 첨부자료...151