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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국표준과학연구원 Korea Research Institute of Standards and Science |
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연구책임자 | 구자용 |
참여연구자 | 김달현 , 김영주 , 이우천 , 임우혁 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 1992-06 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국표준과학연구원 Korea Research Institute of Standards and Science |
등록번호 | TRKO200200007439 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | STM.UHV Nanotechnology.Atomic Resolution.Tunneling.Surface.STM.UHV Nanotechnology.Atomic Resolution.Tunneling.Surface. |
\\ 연구개발의 내용 및 범위 \\ 본 연구에서는 초고진공(Ultra High Vacuum)에서 사용할 수 있는 STM을 자체 개발하는데 중점을 두었다. 3년간의 결과 최종년도인 금년까지 개발완료된 내용은 아래와 같다. \ 1. STM의 기반기술 확립 \ \ 가) 탐침의 전기화학적 부식 및 검사 \ \ 나) 3차원 PZT주사기 제작 및 교정 \ \ 다) Feedback 제어를 위한 전자회로 제작 \ \ 2. 운용 Software \ \ 가) 시료의 단순 표면형상 관찰 \ \ 나) 반도체 표면에서 전자의 Density Of State
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