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보고서 상세정보

CMP 장비 기술 연구에 관한 연구

Study of the Technology for the CMP Equipment

주관연구기관 한국과학기술원
Korea Advanced Institute of Science and Technology
연구책임자 강상원
참여연구자 이재열, 안성덕, 정승훈, 김우찬, 심규찬, 손영웅, 채정헌
발행국가 대한민국
언어 한국어
발행년월 1995-11
주관부처 과학기술부
사업 관리 기관 한국과학기술원
Korea Advanced Institute of Science and Technology
등록번호 TRKO200200009181
DB 구축일자 2013-04-18