초록 ▼

본 연구에서는 I.C Lead Frame 생산현장에서 운영될 수 있는 자동검사시스템을 개발하였고, 다양한 형태의 Lead Frame을 대상으로 spacing, taping, 형상 및 표면검사를 Menu를 통해 유연성 있게 수행할 수 있는 방법을 고안하였다. 특히, 지금까지는 일정한 상태로 입력(sensor의 위치와 수직으로)되는 Lead Frame 영상만을 대상으로 하던 것을, 기울기 보정을 통한 해석방법의 도입으로 다양한 각도로 입력되는 Lead Frame에 대해서도 검사를 가능하게 하였다. 또 512*512영상에서 분해능 한

본 연구에서는 I.C Lead Frame 생산현장에서 운영될 수 있는 자동검사시스템을 개발하였고, 다양한 형태의 Lead Frame을 대상으로 spacing, taping, 형상 및 표면검사를 Menu를 통해 유연성 있게 수행할 수 있는 방법을 고안하였다. 특히, 지금까지는 일정한 상태로 입력(sensor의 위치와 수직으로)되는 Lead Frame 영상만을 대상으로 하던 것을, 기울기 보정을 통한 해석방법의 도입으로 다양한 각도로 입력되는 Lead Frame에 대해서도 검사를 가능하게 하였다. 또 512*512영상에서 분해능 한계를, subpixel의 해석을 고해상도의 입력장치없이 0.025mm이하의 검사 정밀도를 얻는데 성공하였다. 그러나 Lead Frame표면을 검사하는데 필수적인 전용 조명장치의 제작과 실시간 전용시스템의 구성에는 결론을 얻지 못하였다. 이것은, Lead Frame 재질인 금속(구리, 니켈, 은 등)의 고유 특성인 표면 및 corner에서의 정반사 때문에 안정된 입력영상을 얻을 수 없기 때문이다. 최신의 fiber optic 조명장치, 확산판 조명설비, 고주파 전원, LED조명장치로도 근본적인 물제해결은 어려울 것으로 생각되어 이 부분에 대한 집중적인 연구가 추후 필요할 것으로 판단됨. 한편, 실시간 전용시스템의 구성은, Lead Frame검사장비의 기본적인 요구사항인 고속, 고정밀성을 충족시키기위한 장비 및 운영체제(VME based Workstation, 150/40 High speed Image Processor, OS/9)의 서로 다른 내부구조로 인해, Integration시 많은 문제점을 발생하였기 때문이다. 세 시스템의 충분한 이해와 개발, 공급 담당자들과의 협조가 필요할 것으로 본다.

목차 Contents

• 제1장 서론...10
• 1.1 연구의 필요성...10
• 1.2 연구의 목적 및 방법...10
• 제2장 I.C Lead Frame 자동검사를 위한 전용시스템의 구성...13
• 2.1 실시간운영체제...15
• 2.2 영상처리부시스템...20
• 2.3 전용시스템의 구성...29
• 제3장 I.C Lead Frame 자동검사 알고리즘...33
• 3.1 검사 정밀도 향상을 위한 Subpixel 단위측정...33
• 3.2 형상 및 표면검사 알고리즘...46
• 제4장 실험결과 및 고찰...62
• 4.1 Lead Frame Spacing 검사...62
• 4.2 테이프 검사...71
• 4.3 형상검사...72
• 제5장 결론...81
• 참고문헌...82
• 부록...84