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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)에이치비테크놀러지 |
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연구책임자 | 이효진 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2016-11 |
과제시작연도 | 2015 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO201800039711 |
과제고유번호 | 1415142391 |
사업명 | 신성장동력장비경쟁력강화 |
DB 구축일자 | 2018-11-03 |
키워드 | Scan 광학계.Review 광학계.표준시편.카메라트리거보드.다파장조명.DHM.AMOLED.Autofocus. |
□ 핵심기술
AMOLED 패널상에서 200nm 결함을 고속으로 검출할 수 있는 GPU를 사용한 고속 영상처리 및 결함분류기술, 대구경 고해상도 광학계, 정밀스테이지 제어기술
□ 최종목표
55인치 고해상도 AMOLED-TV 패널 200nm이하 불량 검출 장비 개발(TRL: [시작] 3단계 ~ [종료] 7단계)
□ 개발내용 및 결과
본 과제의 AOI 장비는 제조 공정(노광,에칭공정)에서 발생하는 200nm 이하의 결함을 광학적인 방법을 통해 초고속으로 검출한다.
< 개발내용 >
1.
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