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환경계측-감시용 반도체식 NOx센서 개발
Development of Semiconductor Type NOx Sensor for Measuring and Monitoring Environmental Pollution 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국과학기술연구원
Korea Institute Of Science and Technology
연구책임자 김태송
참여연구자 윤영수 , 박일 , 정형진 , 정종학 , 김용범
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월1998-08
주관부처 과학기술부
사업 관리 기관 한국과학기술연구원
Korea Institute Of Science and Technology
등록번호 TRKO200200010482
DB 구축일자 2013-04-18

초록 ▼

▷ Nox 단위 센서 구조의 달성 및 센서 구조의 확립
▷ 기본 센서의 모듈을 소형화함으로써 포터블 센서의 기반기술확립
▷ 소형의 센서 홀더 위에 습도 센서, 온도 센서 및 WO₃박막 Nox 센서를 동시에 장착하여 각각의 센서로부터 현재 측정되는 위치의 물리적 상황을 모니터링 할 수 있는 기반 기술을 제고하였음.
▷ 센서의 성능향상을 위한 수분의 영향 규명
▷ 기본 센서 모듈을 자체 제작한 멤브레인 하우스에 삽입하고 다시 포터블 하우

목차 Contents

  • 제 1 장. 서 론...22
  • 제 1 절. 연구배경...22
  • 제 2 절. 연구개발의 필요성...35
  • 제 3 절. 연구개발의 범위...38
  • 제 2 장 국내외 기술 개발 현황...40
  • 제 1 절. 가스센서 시장의 국내외 현황...40
  • 2.1.1 가스 센서 시장...40
  • 2.1.2 $NO_X$ 가스 센서 시장...42
  • 제 2 절. 국내외 기술 개발 현황...44
  • 2.2.1 국내...44
  • 2.2.2 국외...45
  • 제 3 절. 현 기술 상태의 취약성 및 앞으로의 전망...47
  • 2.3.1 현 기술의 취약성...47
  • 2.3.2 앞으로의 전망...47
  • 제 3 장. 연구 개발수행 내용 및 결과...48
  • 제 1 절. 센서제조 및 특성측정 방법...48
  • 3.1.1 히터 패턴 제조...48
  • 3.1.2 전극 패턴 제조...48
  • 3.1.3 WO 감지막의 제조...52
  • 3.1.4 센서 특성 분석...56
  • 제 2 절. $NO_X$ 가스센서 작동 원리...61
  • 3.2.1 WO 의 전도도...61
  • 3.2.2 $NO_X$ 가스감도특성...64
  • 제 3 절. 결과 및 고찰...65
  • 3.3.1 열증발법에 의한 $WO_3$ 박막의 구조및 감지 특성...65
  • 3.3.2 직류 반응 스퍼터링에 의한 $WO_3$ 박막의 구조 및 감지 특성...75
  • 3.3.3 $WO_3$ 박막의 장기적 안정성...111
  • 3.3.4 직류 반응 스퍼터링에 의한 $WO_3$ 박막의 수분에 대한 효과 및 그의 제거...113
  • 3.3.5 감응도...126
  • 3.3.6 $NO_X$ 디텍터의 제작...130
  • 제 4 절. 결론...147
  • 제 4 장. 연구개발목표 달성도 및 대외 기여도...153
  • 제 1 절. 연구개발 달성도...153
  • 제 2 절. 기여도...155
  • 제 5 장. 연구개발결과의 활용 계획...156
  • 제 1 절. 추구연구의 필요성...156
  • 제 2 절. 타 연구에로의 응용...157
  • 제 3 절. 산업화 계획...158
  • 제 6 장 참고 문헌...159
  • 위탁연구과제...164
  • 진공증착법을 이용한 WO 박막 $NO_X$ 센서의 제조 및 성능개선...164

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

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