초록 ▼

플라즈마 중합 유기박막의 분자구조와 전기적특성을 규명하고 습도센서로서의 응용을 목적으로 무전극 유도결합형과 내전극 정전결합 유동가스형 플라즈마 중합장치를 이용하여 스틸렌과 메틸메타아크릴레이트의 중합박막을 작성하였다. 적외선스펙트럼과 열분해가 스크로마토그래피, 겔투과성 크로마토그래피 등의 분석에 의해 플라즈마중합유기박막을 개시모노머의 화학구조와 다른 구조를 가지고 있음이 판명되었고, 중합파라메타의 조절에 의해 박막의 분자구조, 가교밀도, 분자량분포의 제어가 가능하였다.

플라즈마 중합 유기박막의 분자구조와 전기적특성을 규명하고 습도센서로서의 응용을 목적으로 무전극 유도결합형과 내전극 정전결합 유동가스형 플라즈마 중합장치를 이용하여 스틸렌과 메틸메타아크릴레이트의 중합박막을 작성하였다. 적외선스펙트럼과 열분해가 스크로마토그래피, 겔투과성 크로마토그래피 등의 분석에 의해 플라즈마중합유기박막을 개시모노머의 화학구조와 다른 구조를 가지고 있음이 판명되었고, 중합파라메타의 조절에 의해 박막의 분자구조, 가교밀도, 분자량분포의 제어가 가능하였다. 플라즈마중합유기박막의 전계-전류밀도 특성곡선은 오옴영역, 차일드영역, 전류급증영역으로 구분되며 고전계전기전도기구는 공간전하제한전류형과 잘 일치했다. 습도변화에 대한 전기적 특성의 변화로부터 플라즈마 중합법 중 내정전결합형 반응장치에 의한 유기박막을 습도센서로서 우수한 특성을 나타내는 것으로 판명되었다.

Abstract ▼

The plasma polymerized stylene and methylmethacrvlate thin films were propared by electrodless inductive coupled type and interelectrode gas flow type plasma apparatus respectively in order to define molecular structure and electrical properties and to apply as humidity sensors of plasma polymerized

The plasma polymerized stylene and methylmethacrvlate thin films were propared by electrodless inductive coupled type and interelectrode gas flow type plasma apparatus respectively in order to define molecular structure and electrical properties and to apply as humidity sensors of plasma polymerized organic thin films. It was suggested that the plasma films had different chemical structure from the starting monomer by analyzing I,R, PyGC and GPC, and that the moleculer structure, crosslinking density and molecular weight distribution could be controlled by changing the polymerization parameters. The electric field-current density curve of plasma films was divided into ohmic region, child region and sudden increasing region according to the strength of electric field. The mechanism of high-field conduction is in good agreement with SCLC(space charge limited current) model. It was suggested that the plasma polymerized thin films by interelectrode gas flow type reactor had good charcteristics for the humidity sensors.

목차 Contents

• 1장 서론...11
• 2장 관련이론...15
• 3장 실험...41
• 4장 플라즈마 중합막의 분자구조 분석...51
• 5장 플라즈마 중합막의 전기전도 특성...66
• 6장 플라즈마 중합막의 습도특성...79
• 7장 결론...83
• 인용문헌...85
• 논문발표실적 또는 계획...89
• 학위배출실적...89