초록 ▼

본 연구에서는 대면적, 고효율, 저가의 태양전지용 SnO? 광도전 박막을 초음파진동자를 이용한 pyrosol분무장치에서 제조하고, 이 박막의 광투과성, 도전성 및 광전변화특성을 개선시키는데 목적이 있다. Pyrosol분무장치를 자체 제작하고, SnO?용액의 농도와 현미경 glass기판온도를 변화시켜 중착한 SnO? 박막의 미세조직, 결정구조 및 표면저항과 광투과율등을 조사하였고 박막의 전기적, 광학적 특성을 제조조건과 미세구조에 연관하여 분석하였고 최적 제조조건을 검토하였다. 본 연구에서 다음과 같은 결론을 얻었다. 1.

본 연구에서는 대면적, 고효율, 저가의 태양전지용 SnO? 광도전 박막을 초음파진동자를 이용한 pyrosol분무장치에서 제조하고, 이 박막의 광투과성, 도전성 및 광전변화특성을 개선시키는데 목적이 있다. Pyrosol분무장치를 자체 제작하고, SnO?용액의 농도와 현미경 glass기판온도를 변화시켜 중착한 SnO? 박막의 미세조직, 결정구조 및 표면저항과 광투과율등을 조사하였고 박막의 전기적, 광학적 특성을 제조조건과 미세구조에 연관하여 분석하였고 최적 제조조건을 검토하였다. 본 연구에서 다음과 같은 결론을 얻었다. 1. SnO? 박막은 cassiterite구조의 다결정체로 기판온도가 증가함에 따라 결정립이 치밀하고 미세한 박막을 얻는다. 2. SnCl? 용액농도가 0.4 Mol과 기판온도 400℃에서 pinhole발생량이 크게 감소하고 film형 결정립이 연속적으로 분포하는 양호한 박막을 얻는다. 3. 기판온도가 증가 할수록 표면 저항치가 감소하고 가시광영역에서 80%이상의 광투과율을 보이나 예민한 자외선 차단특성을 나타나지 않는다. 한편 제조된 SnO? 박막의 결정조직을 보다 균일하고 치밀하게 제어하여 전기적, 광학적 특성을 향상시키기 위한 노내열처리 실험은 500℃와 550℃에서 실시하였으나 기판과 박막이 박리하여 data를 얻지 못하였다. 본 실험에서 얻어진 결과는 SnO? 및 ZnO등의 광도전박막제조와 초미립분말제조에 기여를 할 것으로 생각한다.

Abstract ▼

In this study, we try to manufacture the large-scale, high-effeciency and low-cost SnO? photovoltaric thin film solar cell, and then this film will be treated to improve the light-transmission and the electrical conductivity. By pyrosol deposition process, SnO? thin film is made on the micrograph

In this study, we try to manufacture the large-scale, high-effeciency and low-cost SnO? photovoltaric thin film solar cell, and then this film will be treated to improve the light-transmission and the electrical conductivity. By pyrosol deposition process, SnO? thin film is made on the micrograph glass substrate from the mist of SnCl? solution. According to the change of deposition variables (Substrate temperature, Solution concentration, deposition time etc.), the properties of the thin film are measured by SEM, XRD, Spectrophotometer. The results that obtained in this study are as fallows. 1. SnO? thin film is a polycristal of cassiterite structure and its grain is to be fine and dense according to increase substrate temperature. 2. At 0.4 Mol SnCl? and 400℃ the pinhole was largely decreased and the grains distributed contineously. 3. In visible range the transmitance was over 80%, but there was no shrpe UV cut-off.

목차 Contents

• 1. 서론 ... 8
• 2. 실험방법 ... 10
• 3. 결과 및 고찰 ... 16
• 4. 결론 ... 28
• 인용문헌 ... 29