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NTIS 바로가기주관연구기관 | 부산대학교 Busan National University |
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연구책임자 | 김광호 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 1994-02 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 부산대학교 Busan National University |
등록번호 | TRKO200200017258 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 플라즈마 화학중착.TiN.강재공구.기계적 성질.PACVD.TiN.Steel tool.MEchanical properties. |
플라즈마 화학증착법으로 일반강재공구강인 SKH9과 Silicon Wafer위에 TiCl?/N?/H?/Ar반응계를 사용하여 TiN을 코팅시켰을 때, 증착온도, R.F. Power, H? 유량변화에 따른 TiN의 증착특성 및 잔류 불순물인 Chlorine함량변화를 조사하였다. 1) 모재 및 반응변수인 증착온도, R.F. Power, H? 유량변화에 크게 관계없이 강한 TiN(200) 우선배향의 Columnar구조를 갖는 성장 특성을 보였다. 2) 증착온도가 증가할 수록 잔류 Chlorine농도는 급격하게 감소하였다. 3) R.F
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