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NTIS 바로가기주관연구기관 | 경희대학교 Kyung Hee University |
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연구책임자 | 김영동 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 1997-04 |
주관부처 | 과학기술부 |
연구관리전문기관 | 경희대학교 Kyung Hee University |
등록번호 | TRKO200200017316 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 분광타원편광분석기(Ellipsometry).II-VI쪽 반도체박막.산화박막.연자성반도체(diluted magneticsemiconductor).하이브리드상호작용.Spectroscopic Ellipsometry.II_VI semiconductor films.Oxide overlayer.Diluted Magnetic Semiconductor.Hybridization interaction. |
70년대 중반에 D.E.Aspnes 에 의해서 개발된 분광 Ellipsometry는, 이전의 단파장 Ellipsometry 가 보여줄 수 없었던, 반도체들의 밴드갭 특성과 박막연구에 획기적 발전을 가져왔다. 그 중에서, II-VI족 화합물인 ZnSe 는 청색의 빛을 낼 수 있는 레이저 및 발광 다이오우드 (Light Emitting Diode) 로서의 응용가능성 때문에 최근 차세대반도체로서 세계적으로 집중적인 연구가 수행되고 있다. 또한 이 ZnSe 와 ZnTe 는연자성(Diluted Magnetic) 반도체의 기본물
The Spectroscopic Ellipsometry has shown it's powerful abilityto study band gaps and other optical properties of both bulk and thin filmsemiconductors, which could not be obtained by mono-wavelength ellipsometry.Among II-VI semiconductors, ZnSe and ZnTe have attracted strong
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