초록 ▼

$-30^{\circ}C$에서 watt의 흡열량을 갖는 수냉식 전자냉각 unit를 개발하기 위해서 1단 전자냉각모듈과 2단 적층형 energetical cascade 전자냉각모듈의 냉각특성을 측정하였고, 냉각 unit에서의 heat balance equation을 도출하였으며, heat balance equation을 이용하여 냉각 unit의 특성을 simulatuon 하였고, 1단 전자냉각모듈과 2단 적층형 energerical cascade 전자냉각모듈을 사용하여 냉각 unit를 조립한 후에 냉각특성을 평가하

$-30^{\circ}C$에서 watt의 흡열량을 갖는 수냉식 전자냉각 unit를 개발하기 위해서 1단 전자냉각모듈과 2단 적층형 energetical cascade 전자냉각모듈의 냉각특성을 측정하였고, 냉각 unit에서의 heat balance equation을 도출하였으며, heat balance equation을 이용하여 냉각 unit의 특성을 simulatuon 하였고, 1단 전자냉각모듈과 2단 적층형 energerical cascade 전자냉각모듈을 사용하여 냉각 unit를 조립한 후에 냉각특성을 평가하였다.

Abstract ▼

( The present state of home and foreign R&D)
To develop an water thermoelectric cooling unit with 500watt heat absorbed capacity in the state of $30^{\circ}C$. we aeasured cooling characteristic one floor T.E.M. and 2 floor multilayer type energetical cascade T.E.M and drew heat balanc

( The present state of home and foreign R&D)
To develop an water thermoelectric cooling unit with 500watt heat absorbed capacity in the state of $30^{\circ}C$. we aeasured cooling characteristic one floor T.E.M. and 2 floor multilayer type energetical cascade T.E.M and drew heat balance froll cooling uni t and did simulation cooling unit characteristic with one floor T.E.M. and 2 floor multi-layer type energetical cascade T.E.M. and evaluate cooling characteristic of them

목차 Contents

• 표지...1
• 제출문...2
• 요약문...4
• SUMMARY...6
• CONTENTS...9
• 목차...10
• 제1장. 서 론...11
• 제1절. 반도체 제조공정용 chiller...11
• 제2절. 전자냉각의 이론적 배경...17
• 제2장. 국내외 기술개발 현황...26
• 제1절. 외국의 경우...26
• 제2절. 국내의 경우...27
• 제3장. 연구개발의 내용 및 결과...29
• 제1절. 전자냉각모듈의 냉각특성 측정...29
• 제2절. 2단 적층형 전자냉각모듈의 냉각특성...44
• 제3절. 전자냉각방식 chiller용 냉각 unit에서의 Heat Balance Equation 도출...67
• 3-1. 1단 전자냉각모듈을 사용한 내악 unit 에서의 Heat Balance Equation...68
• 3-2. 2단 적층형 energetical cascade 전자냉각모듈을 사용한 냉각 unit에서의 Heat Balance Equation...81
• 제4절. 1단 전자냉각모듈과 2단 적층형 전자냉각모듈을 사용한 전자냉각방식 chiller용 냉각 unit의 수치해석...88
• 4-1. $C_1$ 값이 냉각특성에 미치는 영향...101
• 4-2. $C_2$ 값이 냉각특성에 미치는 영향...109
• 4-3. $H_1$ 값이 냉각특성에 미치는 영향...110
• 4-4. $H_2$ 값이 냉각특성에 미치는 영향...123
• 4-5. 방열측 water jacket에 유입되는 유체의 온도가 냉각특성에 미치는 영향...130
• 4-6. 흡열측 water jacket에 유입되는 유체의 온도가 냉각특성에 미치는 영향...142
• 제5절. 전자냉각방식 chiller용 냉각 unit 제작 및 최대온도차 측정...156
• 제6절. 전자냉각방식 chiller 제작 및 흡열량 측정...166
• 제4장. 결 론...183
• 제5장. 참 고 문 헌...185