[보고서]박막특성 평가기술 사전조사 연구

문대원

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박막특성 평가기술 사전조사 연구

보고서 정보
주관연구기관	한국표준과학연구원 Korea Research Institute of Standards and Science
연구책임자	문대원
참여연구자	김종집 , 이해무 , 김영환 , 이승석 , 조성재 , 한준희 , 황찬용 , 김윤배 , 김동호 , 정영붕 , 성대진 , 노삼규 , 유광민 , 이래덕 , 조양구 , 김창수 , 이확주 , 임흥순
발행국가	대한민국
언어	한국어
발행년월	1995-00
주관부처	과학기술부
사업 관리 기관	한국표준과학연구원 Korea Research Institute of Standards and Science
등록번호	TRKO200200029331
DB 구축일자	2013-04-18
키워드	박막.특성평가.역학특성.전자기특성.양자특성.미세구조 및 결함.극미세 및 표면분석.

초록

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