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NTIS 바로가기주관연구기관 | 금오공과대학교 Kumoh National Institute of Technology |
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연구책임자 | 오충석 |
참여연구자 | 안현균 , 김신우 , 권순규 |
보고서유형 | 1단계보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2005-05 |
과제시작연도 | 2004 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국과학재단 Korea Science and Engineering Foundtion |
등록번호 | TRKO201000012449 |
과제고유번호 | 1350017650 |
사업명 | 21C프론티어연구개발사업 |
DB 구축일자 | 2015-01-08 |
키워드 | 마이크로시스템.나노.박막.기계적 물성.실시간.MEMS.Nano.Thin-Film.Mechanical Properties.In-Line. |
o 나노 크기 박막의 기계적 물성 값을 측정할 수 있는 다양한 방법을 조사했음.
o 다양한 MEMS 가진기에 대한 기초 연구를 수행했음.
o 열 가진기 방식의 가진기를 시험편과 같이 제작하여 유용성을 입증했음.
o 다양한 종류의 정전기 구동 방식의 가진기를 시험편과 같이 제작하여 시험했음.
o 인장 시험과 피로시험을 수행할 수 있는 시스템을 개발하였음.
o 축 하중, 굽힘 하중 및 비틀림 하중을 인가할 수 있는 방식을 구현하였음.
o MEMS 가진기의 전압에 따른 변위 특성을 평가하였음.
o 미
Proof concept test: Proving the measurement concept using a commercial tester before applying a MEMS tester.
Development of in-line measurement techniques: Development of some in-line measurement techniques to measure the mechanical properties for a nano-sized structure using several MEMS actuato
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