초록 ▼

원자력현미경의 탭핑모드에서 얻을 수 있는 위상차영상과 나노/마이크로 표면의 물성에 대한 상관관계를 이론 및 실험을 통해 체계적으로 조사하여, 위상차영상을 효과적으로 활용할 경우 미소표면의 기계적 성질을 규명하는 데에 중대한 역할을 한다는 것을 규명하였으며 그 실례로 DLC 코팅과 TiN 코팅의 마모면에 형성되는 tribichemical film의 특성을 규명하였다. 또한 보이스코일모터(voice coil motor)를 동력원으로 하여 왕복미끄럼 마찰실험이 가능한 초미세 마찰마멸실험장치의 개발에 성공하였다. 본 실험장치는 마찰계수를

원자력현미경의 탭핑모드에서 얻을 수 있는 위상차영상과 나노/마이크로 표면의 물성에 대한 상관관계를 이론 및 실험을 통해 체계적으로 조사하여, 위상차영상을 효과적으로 활용할 경우 미소표면의 기계적 성질을 규명하는 데에 중대한 역할을 한다는 것을 규명하였으며 그 실례로 DLC 코팅과 TiN 코팅의 마모면에 형성되는 tribichemical film의 특성을 규명하였다. 또한 보이스코일모터(voice coil motor)를 동력원으로 하여 왕복미끄럼 마찰실험이 가능한 초미세 마찰마멸실험장치의 개발에 성공하였다. 본 실험장치는 마찰계수를 실시간으로 측정가능한 레이저를 이용한 정밀계측시스템을 채용함으로써 미소부품의 마찰마멸 특성연구에 유용하게 사용할 수 있을 것으로 사료된다.

Abstract ▼

In this work we investigate the operating regimes associated with the phase contrast imaging of hard materials by using probes having high stiffness (k0>100 N/m). Experimental measurement was carried out with an atomic force microscope developed in our laboratory. As an example of characterization o

In this work we investigate the operating regimes associated with the phase contrast imaging of hard materials by using probes having high stiffness (k0>100 N/m). Experimental measurement was carried out with an atomic force microscope developed in our laboratory. As an example of characterization of the wear surfaces using phase imaging, surfaces of wear-resistant TiN coating before and after sliding against steel sliders was investigated in this study. Reciprocating micro wear tester was developed by introducing a voice coil motor as a prime mover. The tester has an ability to analyse the information of specimen surface in real time. Developed tester can be used to investigate some tribological properties of the sample materials in micro elements.

목차 Contents

• 제1장 서론...15
• 제2장 탭핑모드 AFM(Tapping mode Atomic Force Microscopy)...17
• 제3장 AFM의 phase image를 이용한 마찰면의 특성분석...37
• 제4장 AFM을 이용한 DLC 코팅층의 특성분석...61
• 제5장 결론...87
• 참고문헌...91
• 부록 초미세 마찰마멸 실험장치의 개발...101