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ECR 플라즈마의 특성 연구
A Study on the Characteristics of ECR Plasma 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국과학기술연구원
Korea Institute Of Science and Technology
연구책임자 박태진
참여연구자 임태훈 , 윤영현
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월1992-05
주관부처 국무조정실
사업 관리 기관 한국과학기술연구원
Korea Institute Of Science and Technology
등록번호 TRKO200200048685
DB 구축일자 2013-04-18

초록

· ECR CVD 장치의 설계 및 구성· ECR 플라즈마의 공정변수에 따른 화학, 물리적인 특성변화 연구· ECR 플라즈마의 분석기법 및 해석방법 확립 - mass spectrometer의 응용기법 - optical emmission spectrometer의 응용기법

Abstract

목차 Contents

  • 제 1 장 서론...15
  • 제 2 장 ECR 플라즈마의 특성...17
  • 제 1 절 플라즈마...17
  • 1. 전자 에너지...18
  • 2. 전자의 확산속도...20
  • 3. 반응기체의 분해속도...21
  • 제 2 절 ECR 플라즈마...23
  • 1. 마이크로웨이브...24
  • 2. 자기장...36
  • 제 3 절 ECR 플라즈마에서의 에너지 전달...42
  • 1. 에너지 전달속도 및 크기...42
  • 2. 압력에 따른 에너지 전달 효과...46
  • 3. ECR 플라즈마의 특성...49
  • 제 3 장 ECR 플라즈마 장치...54
  • 제 1 절 ECR 플라즈마 시스템...54
  • 1. ECR 마이크로웨이브 시스템...54
  • 2. ECR applicator...56
  • 제 2 절 ECR 플라즈마 반응기...59
  • 제 4 장 ECR CVD 장비의 설계 및 제작...62
  • 제 1 절 장치 설계의 기본 개념...62
  • 제 2 절 진공장치 설계 및 제작...63
  • 1. 진공펌프의 선택...63
  • 2. 진공라인의 설계...64
  • 3. 반응기 설계 및 제작...69
  • 4. ECR 발생부...75
  • 5. 기체공급 시스템...84
  • 6. 배출 가스 처리 시스템...84
  • 7. 시스템 조립 및 안전 장치...87
  • 제 5 장 예비실험 및 결과...92
  • 제 1 절 진공도 검사...92
  • 제 2 절 실리콘 증착 실험...93
  • 제 3 절 실험 결과...97
  • 제 6 장 결론 및 향후 계획...106
  • 참고문헌...107

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참고문헌 (25)

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