초록

가. 금속, 세라믹, 유리등의 표면을 소수성, 친수성으로 개질나. 고상 재료의 표면에 경사 기능층의 형성다. 이종 물질간의 접착력 증가라. 혼합기체 ion beam을 이용한 세라믹 박막의 제작

Abstract

(1) Creation of hydrophilic surface of metal, ceramic and glass(2) Enhancement of adhesion strength of different species(3) Fabrication of ceramic thin film using hybrid ion beam(4) Fabrication of ceramic thin film by mixed gases ion beam

목차 Contents

• 제1장 서론...13
• 제1절 연구목적...13
• 제2절 이온도움 반응...16
• 1.2.1 이온 빔과 폴리머 표면의 반응...16
• 1.2.2 이온도움반응...17
• 제3절 이온 원의 원리...19
• 1.3.1 이온 원의 역사...19
• 1.3.2 이원 원의 원리...21
• 제4절 재료의 표면처리...24
• 1.4.1 금속 AI의 표면처리...24
• 1.4.2 Sol-gel PZT박막의 표면처리...27
• 1.4.3 금속막 증착을 위한 ${Si}_{3}{N}_4$ 세라믹의 표면처리...36
• 1.4.4 세라믹 박막의 합성...41
• 제2장 실험 방법...43
• 제1절 금속 AI의 표면처리...43
• 2.1.1 시편준비...43
• 2.1.2 플라즈마 방전...43
• 2.1.3 이온 빔 처리...45
• 2.1.4 염소 분무 부식 실험...47
• 제2절 ${AI}_{2}{O}_{3}의 질소 이온에 의한 직접 조사 표면처리...47
• 2.2.1 실험장치 및 시료...47
• 2.2.2 표면분석...48
• 제3절 Sol-gel PZT 박막의 표면처리(동시 열처리)...48
• 2.3.1 실험조건 및 분석방법...49
• 제4절 금속막 증착을 위한 ${Si}_{3}{N}_4$ 세라믹의 표면처리...50
• 2.4.1 표면처리의 조건...50
• 2.4.2 백금의 증착 조건...50
• 제5절 세라믹 박막의 합성...50
• 2.5.1 실험방법...51
• 제3장 실험결과...53
• 제1절 금속 AI의 표면처리...53
• 3.1.1 결과 및 고찰...53
• 3.1.2 결론...55
• 제2절 ${AI}_{2}{O}_{3}의 질소 이온에 의한 직접 조사 표면처리...57
• 제3절 Sol-gel PZT 박막의 표면처리(동시 열처리)...64
• 3.3.1 결과 및 고찰...64
• 3.3.2 Futher study...67
• 제4절 금속막 증착을 위한 ${Si}_{3}{N}_4$ 세라믹의 표면처리...70
• 제5절 세라믹 박막의 합성...71
• 3.5.1 결과 및 고찰...71
• 제4장 결론...75
• 제5장 참고문헌...77