초록 ▼

I.제 목 중과제명:대면적 평판표시소자용Glass코팅 머신 개발 세부과제명(1세부) :70인치급PDP용 수직형Glass코팅장치 개발 세부과제명(2세부) :대면적 고속 증착용 플라즈마 증착원 기술 개발 II.연구개발의 목적 및 필요성 PDP가 벽걸이TV로서 자리를 잡아 가정에 보급하기 위해서는 현재의 제조 코스트를 상당한 수준으로 떨어뜨려야만 한다.일본을 중심으로 한PDP제조회사의PDP가 최 근 화질 성능 모두 상당한 진전을 보이고 있음에 따라PDP제조회사는 특히 저코 스트화에 주목하고 있다.70"급 대형 PDP의 박막공정 코스

I.제 목 중과제명:대면적 평판표시소자용Glass코팅 머신 개발 세부과제명(1세부) :70인치급PDP용 수직형Glass코팅장치 개발 세부과제명(2세부) :대면적 고속 증착용 플라즈마 증착원 기술 개발 II.연구개발의 목적 및 필요성 PDP가 벽걸이TV로서 자리를 잡아 가정에 보급하기 위해서는 현재의 제조 코스트를 상당한 수준으로 떨어뜨려야만 한다.일본을 중심으로 한PDP제조회사의PDP가 최 근 화질 성능 모두 상당한 진전을 보이고 있음에 따라PDP제조회사는 특히 저코 스트화에 주목하고 있다.70"급 대형 PDP의 박막공정 코스트를 낮추는 것은 일본 등 기술선진국과의PDP시장경쟁력을 갖추는데 중요한 요소 중의 하나이다.박막공 정 코스트를 낮추기 위해서는70"급 대형설비의 국산화 기술확보가 중요하며,특히 박막질의 향상기술과 생산성,생산수요 극대화기술의 확보가 필요하다.이러한 기 술은Particle대책과Maintain용이성 등을 갖춘 대형 진공설비 기술과 박막질 향 상,높은 Throughput과 높은 TargetMaterial의 사용률을 얻을 수 있는 Plasma Cathode제조기술의 확보가 중요한 관건이 된다. III.연구개발의 내용 및 범위 o 70"급 플라즈마 증착원 개발 (시제품 제작) - 60%이상의Target재료 소모SputterGun 설계 및 제작 (고유모델정립) - 대면적 코팅막 균일도 5%와150 이하의 공정온도 확보 기술 - ITO 증착 속도500 /min MgO증착 속도300 /min - 고압 펄스전원 제조 기술 개발(2KV,50KHz,200ns) - 균일코팅용 대면적SputterGun설계 및 제작 완료 o 대면적Glass 코팅 공정의 최적화 및 안정화 o 대형 수직형SputterChamber보완 및 생산성 제고기술 개발 - 양면 Sputter코팅 공정연구:4TargetSource 활용 코팅공정 연구 - 시스템 자동화 기술 개발 - 코팅 수율 극대화 연구:95%이상 - In-line화를 고려한 대형GateValve국산화 Size:1500(w) x400(h) LeakLate:10-8torr l/sec o 70"급PDP소자용 Glass코팅 장치 국산화 o 70"급 대면적 무결점 코팅공정 기술 개발 - PDP용ITO박막 제조기술 연구 증착속도:500 /min 전기전도도:10 / 가시광선 투과도:85%이상 코팅 균일도: 6% - PDP용Cu박막 제조기술 연구 증착속도:6000 /min 전기전도도:10-5 / 코팅 균일도: 5% - PDP용Cr박막 제조기술 연구 증착속도 :2000 /min 코팅 균일도: 5% IV.연구개발결과 70인치급Glass코팅용 진공 시스템의 최적의 장치를 설계제작하였다고 판단되 며 본 장치에서 코팅된 박막층의 물성이 선진국 제품과 동일한 특성을 나타냄 으로서 국내 PDP산업에 소요되는 코팅 Glass의 국산화 방안을 마련하였으며 아울러LCD,유기EL,FED등 다른 종류의 평판 디스플레이에 활용될 수 있는 코팅Glass생산 기반을 확립하였음. V.연구개발결과의 활용계획 - 1단계 연구과제 완료 후 기업체 기술이전을 통한 사업화 추진 - 지속적인 기술개발을 통한 세계 최정상의 평판표시소자 코팅 장치 국산화 - 기업체 주관하에 기술이전을 실시하며 전문연구기관과의 지속적인 협력 체제 구축

Abstract ▼

1. Title:Development of a Glass Coating Machine for a Large Area Flat Panel Display 2. Object PDP Makers are racing to make additional progress in excellent-efficiency display panels,reduced power consumption, cost reductions in process and equipment, and yield. It is quite difficult for PDPs to ma

1. Title:Development of a Glass Coating Machine for a Large Area Flat Panel Display 2. Object PDP Makers are racing to make additional progress in excellent-efficiency display panels,reduced power consumption, cost reductions in process and equipment, and yield. It is quite difficult for PDPs to make progress in the home use marketat their present high price structure. Analysts estimate that demand will have to increase rapidly before units reach the price range of at least US$3,500 to US$4,000 per set.Nowadays,Japanese suppliers produce most of the materials for manufacturing PDPs. To increase the scale of the PDP market, it is necessary for parts and material makers to develop low-cost products. And every PDP manufacturers requires the development of PDP manufacturing equipment that will guarantee cost competitiveness. For instance, the development of a large area coating equipment can be contributed to reduce the cost and increase the quality of PDPs. Therefore in this study, we were focusing to develop a high efficient coating equipment for 70" PDPs and to obtain the optimized coating processes such as the control of particle contaminations, the improvements of conductivity, and transparency of coating layers, 3. Research Contents and Goals o Goals - Development of the glass coating equipment for producing 70" PDP - Development of the coating process for obtainung the high quality films o Contents - Development of a coating equipment ·Development of a high vacuum system ·Development of a plasma source for the high rate deposition - Development of a coating process ·Study on optimizing the coating processes for 70" PDP ·Establishment of the process control factors for ITO, Cu,and Cr coatings on 70" glass 4. Results and application - Development of a large area sputter coating system for 70" PDP devices - Establishment of the industrialization of a manufacturing equipment for coating systems - Establishment of producing capacities of a coating glass for display devices

목차 Contents

• 제1장 서론 ... 11
• 제2장 국내외 기술 개발 현황 ... 14
• 제1절 국내외 PDP 생산장비 개발 현황 ... 14
• 1. 개요 ... 14
• 2. 대면적 코팅 장치 개발 현황 ... 22
• 제2절 국외의 PDP 생산 장비 개발 현황 ... 25
• 1. 일본의 PDP 공정 기술 개발 및 생산 장비 개발 현황 ... 25
• 2. 미국의 개발 현황 ... 37
• 3. 유럽 및 대만의 개발현황 ... 38
• 제3절 PDP 생산 장비 개발 전략 ... 39
• 제3장 연구개발수행 내용 및 결과 ... 41
• 제1절 PDP 제조용 대면적 코팅 기술 ... 41
• 1. 전극 형성 코팅 기술 ... 41
• 2. 보호막 코팅 기술 ... 41
• 제2절 스퍼터링 시스템 설계 및 제작 ... 44
• 1. 개요 ... 44
• 2. 시스템 설계 제작 ... 44
• 가. 진공 Chamber ... 44
• 나. 진공 배기 시스템 ... 47
• 다. 가스 유입 장치 ... 48
• 라. Chamber Heating 장치 ... 50
• 마. Carrier 설계 제작 ... 54
• 바. Gate Valve 설계 제작 ... 58
• 사. Throttle Valve 설계 제작 ... 60
• 아. Glass Jig 및 Auto Venting 부품 설계 및 제작 ... 61
• 자. 시스템 콘트롤 장치 ... 64
• 차. 시스템 조립 ... 65
• 제3절 대면적 고속 증착용 플라즈마 증착원 기술 개발 ... 67
• 1. 서론 ... 67
• 2. 고전압 펄스 전원 개발 ... 71
• 가. 아크 제어 기술 ... 71
• 나. 펄스 제어 ... 79
• 3. 대면적 스퍼터 캐소드 개발 ... 84
• 4. 증착원 개발 결과 ... 90
• 제4절 스퍼터 코팅 실험 결과 ... 91
• 1. 서론 ... 91
• 2. ITO, Cr, Cu 코팅 연구 ... 91
• 3. 투명도 및 저항 특성 ... 92
• 4. 코팅층 두께 측정 결과 ... 95
• 제4장 연구개발 목표 달성도 및 대외 기여도 ... 99
• 제1절 연도별 연구목표 및 달성도 ... 99
• 제2절 대외 기여도 ... 102
• 1. 기술적 기여도 ... 102
• 2. 경제적 기여도 ... 102
• 3. 사회·문화적 기여도 ... 103
• 4. 타 기술에 미치는 영향 ... 104
• 제5장 연구개발 결과의 활용계획 ... 105
• 제1절 활용계획 ... 105
• 제2절 기업화 추진 방향 ... 106
• 1. 대면적 코팅 장치 개발 동향 분석 ... 106
• 2. 대면적 코팅 장치의 세계시장동향 및 기술 Trend ... 108
• 가. 세계시장 동향 ... 108
• 나. 세계 선도 기업 ... 108
• 다. 기술 개발 Trend ... 109
• 라. 국내외 기술 수준 ... 109
• 마. 경쟁력 확보 대책 ... 110
• 제6장 참고문헌 ... 111
• Appendix - 평판디스플레이 관련 장비업체 현황 ... 113