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WIRE BONDER용 최정밀 X-Y TABLE 개발
DEVELOPMENT OF ULTRA-PRECISION X-Y TABLE FOR WIRE BONDER MACHINE 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국생산기술연구원
Korea Institute of Industrial Technology
연구책임자 박헌찬
참여연구자 이종환 , 유숙철 , 조용석
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월1996-01
주관부처 국무조정실
사업 관리 기관 한국생산기술연구원
Korea Institute of Industrial Technology
등록번호 TRKO200200055662
DB 구축일자 2013-04-18

초록 ▼

본 연구에서 개발하고자 하는 Wire Bonder용 X-Y Table에 대한 중요사항은 다음표와 같다○ 스토퍼간 스트로크: X축-76mm, Y축-45mm○ 정도보증 스트로크: X축-70mm, Y축-40mm○ 위치결정정도: X축-5㎛, Y축-5㎛○ 반복 위치결정 정도: X축- ±2㎛, Y축-±2㎛○ 주행평행도: X축-15㎛, Y축-15㎛○ 요우잉(YAWING): X축-5초, Y축-5초○ 백래쉬: X축-1㎛, Y축-1㎛○ 직각도: X축-5㎛, Y축-5㎛○ 볼스크류리드: X축-4mm, Y축-4mm○ 모타축 환산부하: 0.23 ㎏-㎤○ 이

목차 Contents

  • 제 1 장 서 론...11
  • 제 2 장 X-Y TABLE 설계 및 제작...13
  • 제 1 절 X-Y TABLE 의 이론적 배경...13
  • 제 2 절 Wire Bonder용 X-Y Table 설계...30
  • 제 3 장 X-Y TABLE 성능평가...35
  • 제 1 절 개발사양...35
  • 제 2 절 X-Y Table 평가방법...36
  • 제 3 절 성능평가 결과...47
  • 제 4 장 결론 및 건의사항...57
  • 참고문헌...59
  • 부록...61

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참고문헌 (25)

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