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정전용량식 근접센서의 제조기술개발;디지탈 마이크로메타용 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국생산기술연구원
Korea Institute of Industrial Technology
연구책임자 은탁
참여연구자 김호학 , 양선규 , 김태균 , 정관영 , 김성기 , 우경섭
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월1991-02
주관부처 산업자원부
사업 관리 기관 한국생산기술연구원
Korea Institute of Industrial Technology
등록번호 TRKO200200056054
DB 구축일자 2013-04-18

초록

1. 정전용량식 근접센서의 개념설계- 측정원리설계- 센서의 기본사양설계2. 측정회로의 설계 및 제작- High Impedance A.C. Amplifier의 설계- 정밀 A.C. Current Source의 설계- 정밀 A.C. to D.C. Convertor 설계- Power Supply 등 기타회로 설계- 측정회로의 시제품제작 및 성능시험3. 측정 Probe의 설계 및 제작- Probe의 설계- Probe 가공 및 조립공정 개발- 시제품 제작 및 성능실험4. 응용시스템의 개발- 디지탈 하중계의 개발- 디지탈 두께 측정기의 개발

목차 Contents

  • 제 1 장 서론 ... 9
  • 제 1 절 기술개발의 필요성 ... 10
  • 제 2 절 국내의 기술개발 현황 ... 10
  • 제 3 절 기술개발의 목적 ... 11
  • 제 4 절 기술개발 내용 및 범위 ... 11
  • 제 5 절 기술개발 결과 및 활용방안 ... 12
  • 제 2 장 정전용량식 근접센서의 개요 ... 14
  • 제 1 절 근접센서의 분류 및 장단점 ... 15
  • 제 2 절 정전용량형 센서의 개요 ... 17
  • 제 3 절 정전용량형 근접센서의 원리 ... 18
  • 제 4 절 정전용량형 근접센서의 구성 ... 20
  • 제 3 장 정전용량식 근접센서의 측정회로 설계 및 제작 ... 21
  • 제 1 절 발진부와 교류정전류원 ... 22
  • 1. 발진회로 ... 22
  • 2. Voltage to current converter ... 22
  • 제 2 절 Transducer signal amplifier ... 25
  • 1. high input impedance input brffer ... 26
  • 2. high gain instrumentation amplifier ... 26
  • 3. voltage limiter ... 30
  • 4. current booster ... 34
  • 제 3 절 Signal detector ... 34
  • 제 4 절 Signal conditioning circuit ... 38
  • 1. fullwave fectifier ... 38
  • 2. low pass filter ... 39
  • 제 5 절 Digital panel meter (D.P.M) indicator ... 40
  • 제 4 장 정전용량식 근접센서의 측정 Probe ... 43
  • 제 1 절 Probe의 full scale과 probe diameter ... 44
  • 제 2 절 Probe의 구조 ... 45
  • 제 3 절 Probe의 FEM model ... 46
  • 1. ideal capacitance ... 46
  • 2. ideal capacitance와 FEM model ... 46
  • 3. real capacitance의 FEM model ... 51
  • 제 5 장 정전용량식 근접센서의 성능실험 ... 56
  • 제 1 절 미국제 M사의 성능실험 ... 57
  • 제 2 절 국산앰프와 probe의 성능실험 ... 57
  • 제 3 절 실험결과 ... 60
  • 제 6 장 정전용량식 근접센서의 측정기기에의 응용 ... 61
  • 제 1 절 load cell에의 응용 ... 62
  • 1. load cell용 probe와 jig의 설계 및 제작 ... 62
  • 2. 실험결과 ... 62
  • 제 2 절 Thickness gauge에의 응용 ... 67
  • 1. thickness gauge용 probe와 jig의 설계 및 제작 ... 67
  • 2. 실험 및 결과 ... 69
  • 제 7 장 결론 ... 71
  • 부록1. Reference ... 74
  • 부록2. 사진 ... 75
  • 사진1. 앰프와 probe의 정밀도 측정을 위한 test setup ... 75
  • 사진2. 앰프의 외관 ... 76
  • 사진3. 앰프의 내부모습 ... 76
  • 사진4. load cell에 장착된 probe의 모습 ... 77
  • 사진5. 전자저울에의 응용을 위한 test setup ... 77
  • 사진6. 두께측정에 이용되고 있는 thickness gauge용 jig ... 78
  • 사진7. 두께측정을 위한 test setup ... 78
  • 사진8. 실험에 사용한 probe 모습 ... 79
  • 사진9. Gain - phase analyzer에 의한 회로의 주파수 특성 해석 ... 80
  • 사진10. Measuring instrument에 의한 회로의 성능분석 ... 80
  • 부록3. P.C.B pattern ... 81
  • 1. main amp부 부품면 pattern ... 81
  • 2. main amp부 납땜면 pattern ... 82
  • 3. power supply부 pattern ... 83
  • 4. D.P.M부 pattern ... 83

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

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