최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국화학연구원 Korea Research Institute of Chemical Technology |
---|---|
연구책임자 | 김윤수 |
참여연구자 | 김창균 , 이영국 , 정택모 , 안기석 , 이선숙 , 고원용 , 성명모 , 김진권 , 이경원 , 이성용 , 임종태 , 양용석 , 구수진 , 김두현 , 김병수 , 김철의 , 나은주 , 성기환 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2001-10 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국화학연구원 Korea Research Institute of Chemical Technology |
등록번호 | TRKO200300002700 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
본 연구 개발의 내용은 화학 증착탑의 원료 화합물로 쓰일 수 있는 무기 선구 물질을 설계하여 합성하고 이들을 화학 증착 공정에 사용하여 산업적으로 중요한 여러 가지 박막들을 제조함으로써 그 결과를 산업계에서 활용할 수 있도록 하는 것이다. 이를 위하여 연구 개발의 범위를 다음과 같이 정하였다.· 산화물 박막의 선구 물질 설계 및 개발· 질화물 박막의 선구 물질 설계 및 개발· 복합 산화물 박막의 선구 물질 설계 및 개발· 산화물 박막의 화학 증착· 질화물 박막의 화학 증착· 복합 산화물 박막의 화학 증착
The content of this research concerns the design and synthesis of inorganic precursors that may be employed as source chemicals for chemical vapor deposition, use of these precursors in chemical vapor deposition processes to prepare various industrially important thin films, and making the results o
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.