초록

본 연구 개발의 내용은 화학 증착탑의 원료 화합물로 쓰일 수 있는 무기 선구 물질을 설계하여 합성하고 이들을 화학 증착 공정에 사용하여 산업적으로 중요한 여러 가지 박막들을 제조함으로써 그 결과를 산업계에서 활용할 수 있도록 하는 것이다. 이를 위하여 연구 개발의 범위를 다음과 같이 정하였다.· 산화물 박막의 선구 물질 설계 및 개발· 질화물 박막의 선구 물질 설계 및 개발· 복합 산화물 박막의 선구 물질 설계 및 개발· 산화물 박막의 화학 증착· 질화물 박막의 화학 증착· 복합 산화물 박막의 화학 증착

Abstract ▼

The content of this research concerns the design and synthesis of inorganic precursors that may be employed as source chemicals for chemical vapor deposition, use of these precursors in chemical vapor deposition processes to prepare various industrially important thin films, and making the results o

The content of this research concerns the design and synthesis of inorganic precursors that may be employed as source chemicals for chemical vapor deposition, use of these precursors in chemical vapor deposition processes to prepare various industrially important thin films, and making the results of the research applicable to industry. For this, the scope of this research has been determined as follows.· Design and development of precursors for oxide thin films· Design and development of precursors for nitride thin films· Design and development of precursors for complex oxide thin films· Chemical vapor deposition of oxide thin films· Chemical vapor deposition of nitride thin films· Chemical vapor deposition of complex oxide thin films

목차 Contents

• 제 1 장 서론...11
• 제 1 절 박막 소자용 무기 선구 물질...11
• 1. 박막 소자와 그 제조 방법...11
• 2. 무기 선구 물질...11
• 제 2 절 박막의 제조와 특성 평가...12
• 1. 화학 증착법에 의한 박막의 제조...12
• 2. 선구 물질 및 박막의 특성 평가 (characterization)...13
• 제 2 장 국내외 기술 개발 현황...14
• 제 1 절 국내의 기술 개발...14
• 제 2 절 국외의 기술 개발...15
• 제 3 장 연구 개발 수행 및 결과...17
• 제 1 절 산화물 박막 선구 물질의 합성과 박막의 제조...17
• 1. 서론...17
• 2. 산화알루미늄 (Al₂O₃) 선구 물질의 합성과 박막의 제조...18
• 3. 산화마그네슘 (MgO) 선구 물질의 합성과 박막의 제조...22
• 4. 이산화티타늄 (TiO₂) 선구 물질의 합성과 박막의 제조...31
• 5. 산화갈륨 (Ga₂O₃) 선구 물질의 합성과 박막의 제조...40
• 제 2 절 질화물 박막 선구 물질의 합성과 박막의 제조...47
• 1. 서론...47
• 2. 질화갈륨 (GaN) 박막 선구 물질의 합성과 박막의 제조...47
• 3. 질화알루미늄 (AlN) 및 질화인듐 (InN) 박막 선구 물질의 개발...57
• 제 3 절 복합 산화물 박막 선구 물질의 합성과 박막의 제조...58
• 1. 서론...58
• 2. 복합 산화물 박막 선구 물질의 합성과 박막의 제조...59
• 제 4 장 연구 개발 목표 달성도 및 대외 기여도...62
• 제 1 절 연구 개발 목표와 달성 내용...62
• 제 2 절 연구 개발 성과...65
• 1. 논문 게재...65
• 2. Proceedings 논문 게재...67
• 3. 특허 출원 및 등록...70
• 제 5 장 연구 개발 결과의 활용 계획...72
• 제 1 절 단일 선구물질 방법의 확장...72
• 1. 다른 복합 산화물 박막의 제조...72
• 2. 단일 선구 물질의 열분해에 의한 나노입자의 제조...72
• 3. 화학 증착 공정을 위한 단일 선구 물질의 상업화...72
• 제 2 절 선구 물질 방법의 원자층 침착에의 응용...73
• 1. 단일 선구 물질의 실리콘 기질에서의 흡착 반응...73
• 2. 원자층 침착 (atomic layer deposition, ALD)을 위한 선구 물질의 개발...73