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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국표준과학연구원 Korea Research Institute of Standards and Science |
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연구책임자 | 박용섭 |
참여연구자 | 문대원 , 김현경 , 김경중 , 이형익 , 이주한 , 하용호 , 오두환 , 장효식 , 임영수 , 이성경 , 김대영 , 조성부 , 손현경 , 황의영 , 최재운 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2002-01 |
과제시작연도 | 2002 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국과학재단 Korea Science and Engineering Foundtion |
등록번호 | TRKO200300002810 |
과제고유번호 | 1350003878 |
사업명 | 국가지정연구실사업 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 표면계면분석.조성.깊이분해능.변형율.시간분해능.XPS.SIMS.MEIS.ISO/TC201.CRM.표준보급.유저미팅.surface.interface.concentration.depth resolution.strain.user meeting.time resolution.XPS.SIMS.MEIS.ISO/TC201.standards. |
1차년도 (1999)
- Co-Pt 합금 초박막의 조성 분석 오차 분석을 통해 8% 정확도의 신뢰성 확인.
- Fe-Ni 합금 박막에서 6% 정확도 달성.
- IMFP 직접측정을 위해 초박막 증착 시스템 정비 및 테스트.
- glancing angle incidence를 이용해서 SIMS 2.0nm 깊이 분해능 일부 달성.
- 원자배열 구조 분석법 (XPD) 확립을 위한 시료 handling 시스템 개선.
- TRPES용 레이저 시스템 설치, 테스트.
- 외부인의 초박막 분석의뢰 체계정비.
Year 1 - 1999
- Confirmation of the reliability of 8 % error in the concentration measurements of Co-Pt alloy thin films using XPS
- Achieving 6 % error in Fe-Ni alloy thin films in XPS concentration analysis
- Test of thin film deposition system for direct measurements of IMFP
- Achiev
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