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NTIS 바로가기등록일자 | 2005-03-04 |
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출처 | RESEAT |
URL | https://www.reseat.or.kr/portal/cmmn/file/fileDown.do?menuNo=200019&atchFileId=6dccb7cc00344561984d2241732ac6bc&fileSn=1&bbsId= |
□ 물질의 표면/계면에 입자들(전자, 이온, 광자, 양전자)을 조사하여 부가적으로 생성되는 이차 입자들로부터 원소의 화학적 정보를 검출하는 방법은 EAES, XPS, RBS, PAES, SIMS 등이 있으며, 이 중에서 SIMS(2차 이온질량 분석법)는 표면 분석의 감도가 제일 높고 동위원소 정보를 통해 모든 원소를 분석할 수 있으며 깊이 분해능이 우수하여(1~5㎚) 반도체 산업과 금속소재 산업 등에 많이 사용되고 있으며, 향후 나노 소재의 연구개발에 중요하게 사용될 것으로 전망된다.
□ 반도체 산업에서 성장된
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