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마이크로 변압기 제작 연구
A Study on the Fabrication of Microtransformer 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 연세대학교
Yonsei University
연구책임자 이상렬
참여연구자 김철수 , 강홍성 , 전창훈 , 김재원
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2003-08
과제시작연도 2002
주관부처 과학기술부
사업 관리 기관 한국과학재단
Korea Science and Engineering Foundtion
등록번호 TRKO200300003573
과제고유번호 1350015464
사업명 21C 프론티어연구개발사업
DB 구축일자 2015-01-08
키워드 마이크로 변압기.압전체.기계적 품질계수.전기기계 결합계수.박막형 마이크로 변압기.microtransformer.piezoelectric.mechanical quality factor.electro-mechanical coupling factor.thin film microtransformer.

초록

마이크로 변압기 제작 연구
1∼2차년도
- 압전체 조성 다양화를 통한 고성능 압전체 개발
- tape casting에 의한 마이크로 변압기 공정 변수 도출
- 마이크로 변압기 제작
- 마이크로 변압기 특성 분석
3차년도
- 압전체 조성에 대한 최적화
- 60 ㎛ 두께 이하의 마이크로 변압기 제작
- 박막형 변압기를 위한 공정조건 및 압전변수 도출
- 마이크로 변압기 측정
4차년도
- 최적의 압전체를 이용하여 1 ㎛이하의 압전 박막 제작
- 박막형 마이크로 변

목차 Contents

  • 제 1장 연구개발과제의 개요...14
  • 제 2장 국내외 기술개발 현황...16
  • 1절 기술개발 현황...16
  • 2절 해당과제의 기술 수준 성취도...16
  • 제 3장 연구개발수행 내용 및 결과...17
  • 1절 압전체 조성 다양화를 통한 고성능 압전체 개발...17
  • 1. 첨가물 종류에 따른 특성 변화...19
  • 가. PMW와 MnO₂ 효과...19
  • 나. Cr₂O₃ 효과...20
  • 다. La₂O₃ 효과...20
  • 2. 소결 온도에 따른 압전 특성 분석...22
  • 가.0.96Pb$Zr_{0.52}Ti_{0.48}$O₃ + 0.04Pb(Mn,Sb,Nb)O₃ 압전세라믹의 소결 온도에 따른 특성 분석...22
  • 나. 0.96Pb$Zr_{0.52}Ti_{0.48}$O₃ + 0.04Pb(La,Nb,Mn)압전세라믹의 소결 온도에 따른 특성 분석...22
  • 3. 0.96Pb$Zr_{x}Ti_{1-x}$O₃ + 0.4 wt% MnO₂ + ywt% WO₃의 첨가물에 따른 실험...23
  • 4.0.96Pb$Zr_{x}Ti_{1-x}$O₃ + 0.04Pb(Mn,W,Sb,Nb)O₃의 Zr/Ti 몰비에 따른 실험...26
  • 2절 마이크로변압기 제작...30
  • 1. 마이크로 변압기의 특성 분석...31
  • 3절 압전체 박막의 제작...35
  • 1. 압전체 박막의 특성 분성...36
  • 2. PZT-PMWSN 박막의 Zr/Ti 몰비에 따른 히스테리시스 특성...37
  • 3. 타겟 압력과 증착 시간에 따른 piezo peak의 변화 관찰...38
  • 4. 어닐링 온도에 따른 piezo peak 변화 관찰...39
  • 5. 버퍼층 위에 증착한 박막의 어닐링 온도에 따른 piezo peak의 변화 관찰...39
  • 제 4장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도...41
  • 1절 연구개발목표의 달성도...41
  • 2절 관련분야의 기술발전에의 기여도...43
  • 제 5장 연구개발 결과의 활용계획...44
  • 1절 연구개발 결과의 파급효과...44
  • 2절 연구개발결과에 대한 활용 가능성...44
  • 3절 추가연구의 필요성...45
  • 제 6장 연구개발과정에서 수집한 해외과학기술정보...46
  • 1절 실리콘 기판 위에 magnetic component의 집적화...46
  • 1. pot-core 구조...46
  • 2. toroidal 구조...46
  • 2절 압전체를 이용한 적층형 구조...47
  • 제 7장 참고문헌...48
  • [첨부1]...51
  • 연구결과 활용계획서...51
  • 1. 연구목표 및 내용...51
  • 가. 최종 연구개발 목표...51
  • 나. 1단계(‘00.5∼’03.6) 연구개발 목표...51
  • 다. 연차별 연구목표 및 내용...51
  • 2. 연구수행결과 현황...52
  • 가. 특허(실용신안) 등 자료목록...52
  • 나. 프로그램 등록목록...52
  • 다. 노하우 내역...52
  • 라. 발생품 및 시작품 내역...52
  • 마. 논문게재 및 발표 실적...52
  • 3. 연구성과...55
  • 4. 기술이전 및 연구결과 활용계획...56
  • 가. 당해연도 활용계획...56
  • 나. 활용방법...56
  • 다. 차년도이후 활용계획...56
  • 5. 기대효과...56
  • 가. 기술적 측면...56
  • 나. 경제ㆍ산업적 측면...56
  • 다. 사회ㆍ문화적 측면...57
  • 6. 문제점 및 건의사항...57
  • [첨부2]...58
  • 기술 요약서...58
  • ■ 기술의 명칭...58
  • ■ 기술을 도출한 과제 현황...58
  • ■ 기술의 주요내용...59
  • ■ 기술의 분류...60
  • ■ 산업재산권 보유현황...60
  • ■ 기술이전 조건...60
  • ■ 기술의 개발단계 및 수준...61
  • ■ 본 기술과 관련하여 추가로 확보되었거나 개발 중인 기술...62

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참고문헌 (25)

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