초록 ▼

화학조성 및 물리적 특성을 측정하는 데 있어 미터원기 또는 표준기와 같은 역할을 하는 것이 인증표준물질이며, 이를 사용하며 측정기기를 교정하거나 측정기술의 정확도를 평가하기 위해서는 측정대상과 조성이나 특성이 유사한 인증표준물질을 선택하여 사용하여야 하므로 요구되는 인증표준물질의 종류는 대단히 많다.본 연구에서는 인증표준물질 개발의 중장기계획과 국내산업체의 수요와 파급효과 등을 고려하여 개발의 시급성이 큰 인증표준물질을 우선적으로 개발하였다.
- 단일원소 표준용액 CRM 개발
- 음이온 표준용액 CRM 개발
- 철강

화학조성 및 물리적 특성을 측정하는 데 있어 미터원기 또는 표준기와 같은 역할을 하는 것이 인증표준물질이며, 이를 사용하며 측정기기를 교정하거나 측정기술의 정확도를 평가하기 위해서는 측정대상과 조성이나 특성이 유사한 인증표준물질을 선택하여 사용하여야 하므로 요구되는 인증표준물질의 종류는 대단히 많다.본 연구에서는 인증표준물질 개발의 중장기계획과 국내산업체의 수요와 파급효과 등을 고려하여 개발의 시급성이 큰 인증표준물질을 우선적으로 개발하였다.
- 단일원소 표준용액 CRM 개발
- 음이온 표준용액 CRM 개발
- 철강 CRM 개발
- 가스 CRM 개발 및 숙련도 시험
- 유기물 분석용 CRM 개발
- 식품중 잔류농약오염 측정용CRM개발
- 기초 혈청 CRM의 개발
- 비표면적 CRM 개발
- 의료용 방사성 용액 CRM 개발
- 온도센서 교정용 CRM 개발
- 반도체 박막두께 인증표준물질 개발
- 저밀도 액체기준물 개발

- 반도체 웨이퍼 면저항 CRM 개발
- 광통신파장표준용 아세틸렌 셀 개발
- 광섬유 CRM 개발
- As 도핑 Si 델타 다층 박막 CRM 개발

Abstract ▼

In the case of chemical composition and physical characteristics measurement, CRMs play main role as a standard to calibrate and evaluate the accuracy of instruments. Therefore many different kinds of CRMs are required in various field. In this study, CRMs are developed considering domestic industry

In the case of chemical composition and physical characteristics measurement, CRMs play main role as a standard to calibrate and evaluate the accuracy of instruments. Therefore many different kinds of CRMs are required in various field. In this study, CRMs are developed considering domestic industry need and our mid- and long-term development plan.
- Elemental and anionic solution CRMs
- Low alloy steel CRMs
- Gas CRMs and proficiency test
- CRMs for the analyses of contaminants in food stuffs
- CRM for organic and clinical analysis
- Radioactivity CRMs for medical science and calibration.
- CRM for the calibration of the temperature sensors
- Film thickness CRM for semiconductor process
- Sheet resistance CRM
- Acetylene gas cell for the wavelength standard
- Delta multilayer thin film CRMs for depth resolution

목차 Contents

• 제 1 장 서론...24
• 제 1 절 CRM 개발 및 보급 현황...24
• 제 2 절 CRM 생산 품질시스템의 구축...29
• 제 3 절 표준물질 생산 국가 체계(안)...44
• 제 2 장 무기분석용 CRM 개발...54
• 제 1 절 개요...54
• 제 2 절 단일원소 표준용액 CRM 개발...54
• 제 3 절 음이온 표준용액 CRM 개발...61
• 제 4 절 저합금강 CRM 개발...69
• 제 3 장 가스 CRM 개발 및 숙련도 시험...93
• 제 1 절 서론...93
• 제 2 절 대기 농도 측정용 NO 및 SO₂ 가스 CRM 개발...95
• 제 3 절 VDC 규제 8 종 CRM 안정도 연구...112
• 제 4 절 가스 CRM 뱃치 생산 체계구축-I...117
• 제 5 절 국내 숙련도 시험...128
• 제 6 절 결론...134
• 제 4 장 유기분석용 CRM 개발...137
• 제 1 절 유기물 분석용 CRM 개발...137
• 제 2 절 식품 중 잔류농약 측정용 CRM 개발...157
• 제 3 절 기초혈청 CRM의 개발...169
• 제 5 장 비표면적 CRM 개발연구...189
• 제 1 절 서론...189
• 제 2 절 흡착이론...190
• 제 3 절 비표면적 측정원리 및 표준장비...194
• 제 4 절 비표면적 인증표준물질...201
• 제 5 절 결론...217
• 제 6 장 의료용/교정용 방사능 CRM 개발...221
• 제 1 절 서론...221
• 제 2 절 선원 제작...222
• 제 3 절 방사능 측정...235
• 제 4 절 분석 및 결과...239
• 제 5 절 결론...246
• 제 7 장 온도센서교정용 CRM 개발...249
• 제 1 절 서론...249
• 제 2 절 밀봉형 아연 응고점 CRM...249
• 제 3 절 결론...265
• 제 8 장 1.4-2.9 nm의 반도체 박막두께 인증표준물질 개발...266
• 제 1 절 서론...266
• 제 2 절 고굴절률 게이트 산화물질을 위한 분산모델...268
• 제 3 절 Al₂O₃ 박막의 분석모델 개발...278
• 제 4 절 $SiO_{x}N_{y}$ 박막의 분석모델 개발...286
• 제 5 절 CRM 제작 및 보급...291
• 제 6 절 결론...293
• 제 9 장 저밀도 액체기준물 개발...295
• 제 1 절 서론...295
• 제 2 절 기준물질...295
• 제 3 절 측정 및 균질도 검사...302
• 제 4 절 안정도 및 불확도...307
• 제 5 절 포장...311
• 제 6 절 결론...313
• 제 10 장 반도체 웨이퍼 면저항 CRM 개발...314
• 제 1 절 서론...314
• 제 2 절 면저항 CRM용 웨이퍼의 제작...314
• 제 3 절 온도계수, 균일도 및 안정도의 평가...316
• 제 4 절 결론...326
• 제 11 장 광통신 CRM 개발...328
• 제 1 절 광통신 파장 표준용 아세틸렌 셀 개발...328
• 제 2 절 광섬유 CRM 개발...345
• 제 12 장 As 도핑 Si 델타 다층 박막 CRM 개발...358
• 제 1 절 서론...358
• 제 2 절 미량성분의 깊이분포도 분석...359
• 제 3 절 SIMS 깊이분해능 향상 및 평가...366
• 제 4 절 제작된 인중표준물질의 평가 및 인증...380
• 제 5 절 결론...382
• 제 13 장 철강소재 분석용 저합금강 CRM 제조 Ⅲ...384
• 제 1 절 서론...384
• 제 2 절 실험 방법...385
• 제 3 절 결과 및 고찰...392
• 제 4 절 결론...417