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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국표준과학연구원 Korea Research Institute of Standards and Science |
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연구책임자 | 엄태봉 |
참여연구자 | 박병천 , 김재완 , 김종안 , 강주식 , 김명순 , 한진완 , 정돈영 , 이재윤 , 정기영 , 송원형 , 엄천일 , 서호성 , 윤태현 , 최현승 , 최태영 , 김종윤 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2004-11 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국표준과학연구원 Korea Research Institute of Standards and Science |
등록번호 | TRKO200500002340 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 나노측정.이동장치.레이저간섭계.나노센서.나노측정기.nanometrology.stage.laser interferometer.nano-sensor.nano measuring machine. |
- 나노측정기 개발
250 ㎜ * 250 ㎜ * 10 ㎛ 측정 범위를 갖는 긴거리 나노측정기 개발
100 ㎛ * 100 ㎛ 측정 범위를 갖는 나노측정기 개발(상용품 based)
100 ㎛ * 100 ㎛ 측정 범위를 갖는 나노측정기 개발(상용품 based)
- 나노측정기반기술
초정밀 나노이동기구 개발(micro-stage 및 global stage)
실용적인 레이저간섭계 개발(homodyne 및 heterodyne 레이저 간섭계)
정전용량형 나노센서의 개발
나노측정 분야의 국제비교
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