최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국표준과학연구원 Korea Research Institute of Standards and Science |
---|---|
연구책임자 | 엄태봉 |
참여연구자 | 박병천 , 김재완 , 김종안 , 강주식 , 김명순 , 한진완 , 정돈영 , 이재윤 , 정기영 , 송원형 , 엄천일 , 서호성 , 윤태현 , 최현승 , 최태영 , 김종윤 |
보고서유형 | 2단계보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2004-11 |
과제시작연도 | 2003 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국과학재단 Korea Science and Engineering Foundtion |
등록번호 | TRKO200900071861 |
과제고유번호 | 1350000805 |
사업명 | 국가지정연구실사업 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 나노측정.이동장치.레이저간섭계.나노센서.나노측정기.nanometrology.stage.laser interferometer.nano-sensor.nano measuring machine. |
- 나노측정기 개발
250 mm
100
100
- Precision translation system
Design and fabrication of the global stage and micro-stage
Testing of the global stage and micro-stage
- Precision displacement measurement
Development of homodyne laser interferometer and reduction of nonlinearity error
Development of heterodyne laser i
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.