[보고서]대구경 Si Wafer 개발 연구

권봉수

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대구경 Si Wafer 개발 연구

보고서 정보
주관연구기관	한국전자통신연구원 Electronics and Telecommunications Research Institute
연구책임자	권봉수
참여연구자	길종원 , 김호중 , 유창덕 , 이보영 , 이영래 , 이홍우 , 이화혼 , 조기현 , 조한식 , 조효용 , 혀용문
발행국가	대한민국
언어	한국어
발행년월	1993-03
등록번호	TRKO200500015970
DB 구축일자	2013-04-18

초록

본 대구경 Si Wafer 개발의 목적은 16/64M DRAM급 반도체 소재 국산화를 통한 Si Wafer의 수입대체 효과와 아울러 국내 반도체 생산업체에 원활한 Wafer 공급을 통한 부가가치의 재고와 기억소자 생산 및 개발능력 강화에 기여하고자 하는 것이다.

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참고문헌 (25)

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과제요약정보
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