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NTIS 바로가기주관연구기관 | 정보통신연구진흥원 Institute for Information Technology Advancement |
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연구책임자 | 송기문 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 1997-06 |
등록번호 | TRKO200500022321 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
본 연구의 최종 목표인 C3N4의 증착과 캠코더용 몰드코팅에의 응용을 위한 96년 당해연도의 연구목표는 solid state Cs ion source의 개발 및 증착에 필요한 Cs+ IGSDS의 개발이었다. 96년도의 연구를 통해서 solid state Cs pellet을 개발하였고, 이를 이용하여 Cs+ IGSDS을 설계, 구성하였으며, 증착변수의 설정과 증착조건의 확립을 위하여 탄소음이온빔을 증착하여 얻은 DLC film의 특성분석을 통해서 제작된 Cs ion source의 특성을 평가하고 optimum한 DLC 증착조건을 확립
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