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NTIS 바로가기등록일자 | 2004-10-11 |
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출처 | RESEAT |
URL | https://www.reseat.or.kr/portal/cmmn/file/fileDown.do?menuNo=200019&atchFileId=f371646da5ad45eb9b9cd5349027fc38&fileSn=1&bbsId= |
□ 입방정 질화탄소는 이론적으로 다이아몬드보다 강도와 열전도율이 높고 화학적 안정성, 내방사선성을 가지므로 피복 재료나 저마찰, 내마모 재료 그리고 광전자 소재 등 많은 분야에 응용이 가능한 신물질로 평가된다.
□ 질화탄소 박막을 제조하는 기술은 초기에 일본에서 흑연에 질소이온을 주입하는 방법을 시초로 최근에는 기판과의 접착력을 높이는데 효과적인 이온빔 보조 증착에 의한 코팅법을 사용하는데, 이것은 탄소의 이온빔 스퍼터링과 질소이온을 기판에 동시에 조사하는 방법이다.
□ 고경도 질화탄소 코팅
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