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NTIS 바로가기주관연구기관 | 엠투엔(주) |
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발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2005-05 |
과제시작연도 | 2004 |
주관부처 | 과학기술부 Ministry of Science and Technology |
등록번호 | TRKO200500066461 |
과제고유번호 | 1350002983 |
사업명 | 21C프론티어연구개발사업 |
DB 구축일자 | 2015-01-08 |
전체- 병렬 프로브 제조 기술 개발- Functional tip 제조 기술 확보주관- 실리콘 팁 제조 기술 개발- 다기능 프로브 제조를 위한 단위 공정 및 공정 Integration- 변위센서 제조 공정 기술 개발- 프로브 특성 평가 기술- 프로브 리소 그래피 기술협동- 유전영동 및 LB법을 이용한 Single CNT AFM팁 및 기능성 AFM팀의 제조 기술 확보- CNT AFM팁을 이용한 Contact mod 와 Noncontact mode에서의 최적 측정조건 분석- 다양한 용매
In this study, the multi functional probe for nano scale lithography, high speed scanning probe microscope was developed in parallel.The multi functional probe array has tips, displacement sensors and micro actuators for scanning probe lithography. The probe has following properties: (1) high displa
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