초록 ▼

2005 년도 기본연구 사업으로 '신재료 원천기술 개발'의 세부과제로 수행한 '수동소자 집적화 기술 연구'를 최종으로 수행한 결과 다음과 같이 요약할 수 있다.
$\cdot$ 집적 수동소자 시제품 제작 : 일괄 공정 및 공정 단순화를 적용하여 $1.8\sim2.2$ GHz 주파수 영역의 R L C 집적화 시제품을 제작하였으며, 공정에서 축적된 기술은 집적화 VCO 개발에 활용하였다.
$\cdot$ 소자의 시제품 특성 평가 :

2005 년도 기본연구 사업으로 '신재료 원천기술 개발'의 세부과제로 수행한 '수동소자 집적화 기술 연구'를 최종으로 수행한 결과 다음과 같이 요약할 수 있다.
$\cdot$ 집적 수동소자 시제품 제작 : 일괄 공정 및 공정 단순화를 적용하여 $1.8\sim2.2$ GHz 주파수 영역의 R L C 집적화 시제품을 제작하였으며, 공정에서 축적된 기술은 집적화 VCO 개발에 활용하였다.
$\cdot$ 소자의 시제품 특성 평가 : $1.8\sim2.2$ GHz 주파수 대역의 RLC 집적화 시제품과 $989MHz\sim1.2GHz$ 대역의 VCO에 대하여 발진 특정을 측정하였으며, 공정 및 설계의 원인 분석을 통하여 특성을 평가하였다.
$\cdot$ VCO 집적화 시제품 제조 : 각각 1, 2단계에서 파생된 집적화 기술과 디바이스 설계 기술을 활용하여 VCO를 설계 및 제작하였다.
$\cdot$ 소자 패턴 모델링 : 위탁연구로 수행된 '다층기판소재의 패턴 모델링'을 통하여 개별 소자의 설계 및 활용 기술의 폭을 넓이도록 하였다.

Abstract ▼

Development of Advanced Materials and Processes for RF Integrated Passive Devices.
$\blacksquare$ Fabrication of desirable devices by thin film process and integration method
$\blacksquare$ Design of advanced materials and improvement of fabrication technology for R, L, C

Development of Advanced Materials and Processes for RF Integrated Passive Devices.
$\blacksquare$ Fabrication of desirable devices by thin film process and integration method
$\blacksquare$ Design of advanced materials and improvement of fabrication technology for R, L, C and VCO(voltage controlled oscillation)
$\blacksquare$ Specification of each of the devices to be developed
- Establishment of fabrication processes of the integrated passive devices for the use of wide-band linear amplifier Specification: Frequency: $1\sim4$ GHz
Inductance L : 1 nH
Resistance R : 1 $k{\Omega}$
Capacitance C : 0.1 pF
- Reduction of IPDs occupancy from $60\%$ to below $40\%$ in the PCB panel area
$\blacksquare$ Specification of integrated VCO
- oscillation voltage: $0\sim10$ V
- frequency band: $1.35\sim1.38$ GHz
- size: inductor $480{\mu}m{\times}480{\mu}m$, capacitor $120{\mu}m{\times}120{\mu}m$

목차 Contents

• 제 1 장 연구개발 과제의 개요 ... 14
• 제 2 장 국내외 기술개발 현황 ... 17
• 제 3 장 연구개발 수행내용 및 결과 ... 24
• 제 1 절 집적화를 위한 공정 ... 24
• 1. 서론 ... 24
• 2. 소자 제조 ... 25
• 3. 수동소자 어레이와 가상 측정 ... 29
• 제 2 절 고주파 VCO의 집적화 ... 36
• 1. 서론 ... 36
• 2. 전압제어발진기의 설계 ... 42
• 3. 전압제어발진기의 제작 ... 50
• 4. 전압제어발진기의 집적화 ... 69
• 제 3 절 수동 다층기판 소자의 패턴 모델링 ... 82
• 1. 서론 ... 82
• 2. Z-Matrix를 이용한 금속-유전체-금속 기판에 대한 임피던스 계산 ... 82
• 3. 전송선로 행렬을 이용한 전력배분기판에 대한 빠른 임피던스 계산 방법 ... 93
• 4. 결론 ... 99
• 제 4 장 목표 달성도 및 관련 분야에의 기여도 ... 100
• 제 1 절 목표달성도 ... 100
• 제 2 절 관련분야 기여도 ... 101
• 제 5 장 연구개발결과의 활용계획 ... 103
• 제 6 장 연구개발과정에서 수집한 해외과학기술 정보 ... 117
• 제 7 장 참고문헌 ... 124