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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국전기연구원 Korea Electrotechnology Research Institute |
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연구책임자 | 송재성 |
참여연구자 | 민복기 , 김인성 , 이동윤 , 이원재 , 정순종 , 고중혁 , 박대진 , 김지영 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2004-07 |
과제시작연도 | 2003 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국과학재단 Korea Science and Engineering Foundtion |
등록번호 | TRKO200900073135 |
과제고유번호 | 1350001237 |
사업명 | 국가지정연구실사업 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 수동소자.집적화.박막 인덕터.박막 커패시터.질화 탄탈륨.산화 탄탈륨.Passive devices.Integration.Thin film Inductor.Thin film Capacitor.Tantalum Nitride.Tantalum Oxides. |
"수동소자 집적화 기술연구"를 1단계 수행하고, 2단계의 각각 1차년도, 2차년도 "수동소자 집적화 공정 확립"를 수행한 결과 요약 결론은 다음과 같다.
Development of Advanced Materials and Process Methods for Integrated Passive Devices
o Fabrication of desirable devices by thin film process and integration method
o Design of advanced materials and improvement of fabrication technology for resistor R, inductor L and capacitor C
o Specifica
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