초록 ▼

본 연구는 탄소나노튜브를 이용한 대기오염 검출용 고감도 나노센서 원천기술 개발을 위한 연구로서, 탄소나노튜브 나노복합체를 이용하여 다양한 가스의 신속한 검출이 가능한 가스센서를 위한 여러 가지 원천 기술을 얻었다. 나노튜브 혹은 나노튜브 복합체와 같은 다양한 소재개발 및 이것을 어셈블리하여 제작한 디바이스를 제작 하는데 성공하였다. 또한 회복속도를 높이기 위한 히터제작, 감도를 높이기 위한 나노튜브의 복합체 사용 및 반응가스의 정성적 농도조절이 가능한 시스템 구축 등 실제 가스 검출을 위한 전반적인 기반기술을 확보 하였다. 우리는

본 연구는 탄소나노튜브를 이용한 대기오염 검출용 고감도 나노센서 원천기술 개발을 위한 연구로서, 탄소나노튜브 나노복합체를 이용하여 다양한 가스의 신속한 검출이 가능한 가스센서를 위한 여러 가지 원천 기술을 얻었다. 나노튜브 혹은 나노튜브 복합체와 같은 다양한 소재개발 및 이것을 어셈블리하여 제작한 디바이스를 제작 하는데 성공하였다. 또한 회복속도를 높이기 위한 히터제작, 감도를 높이기 위한 나노튜브의 복합체 사용 및 반응가스의 정성적 농도조절이 가능한 시스템 구축 등 실제 가스 검출을 위한 전반적인 기반기술을 확보 하였다. 우리는 이러한 연구에서 얻어진 기반 기술을 이용하여 현 환경부에서 제시하는 기준치 미만의 감도를 얻는데 성공하였다. 또한 값비싼 장비가 아닌 간단한 시스템 만으로도 실온에서 수 ppm에서 그 이하인 수십 ppb까지의 감도가 측정 가능한 나노 센서 기술을 확보 하였다.

Abstract ▼

This research was performed to develop the fundamental technology of high sensitive nano sensor for detection of air pollution. Main material is carbon nanotube which is able to detect various gases rapidly. First, we made the carbon nanotube device using optical lithography according to the fold ef

This research was performed to develop the fundamental technology of high sensitive nano sensor for detection of air pollution. Main material is carbon nanotube which is able to detect various gases rapidly. First, we made the carbon nanotube device using optical lithography according to the fold effect transistor principle. In order to enhance the response time, heater and composite materials based on carbon nanotube are used for this device. Using these basic technologies, we develop the cheap process for fabrication and high sensitive gas sensor that can detect the allowable level of toxic gases such as $NO_2$ and $SO_2$. With simple device at room temperature, ppb level of gases could be detected.

목차 Contents

• 표지...1
• 제출문...2
• 보고서 초록...3
• 요약문...4
• SUMMARY...5
• CONTENTS...5
• 목차...6
• 제1장 연구개발과제의 개요...7
• 제2장 국내외 기술개발 현황...9
• 제3장 연구개발수행 내용 및 결과...12
• 제1절. 주관기관: 한국기계연구원...12
• 제2절. 위탁연구: 성균관대학교...61
• 제4장 목표 달성도 및 관련분야에의 기여도...79
• 가. 목표 달성도...79
• 나. 활용 및 기...79
• 제5장 연구개발결과의 활용계획...80
• 제6장 참고문헌...81
• 제7장 전문가 세미나 개최 보고서...82