초록 ▼

1. 연구개발목표 및 내용
- 고분해능 2차원 엑스선 기술 개발
- 1차원 엑스선 센서 실용화 모듈 개발
- 다결정 세라믹 섬광 특성 향상 및 소자화 기술 개발
2. 연구결과
- 박막의 픽셀화기술개발 및 특성평가 체계 구축
- CMOS Readout 회로 및 $128R{\times}128C$ CMOS ROIC 설계 및 개발
- PIN형 PD및 섬광체를 이용한 1차원 엑스선 센서 stacking기술 개발
- 센서모듈의 신호처리 보드 설계및 제작기술 확보
- 길이방향

1. 연구개발목표 및 내용
- 고분해능 2차원 엑스선 기술 개발
- 1차원 엑스선 센서 실용화 모듈 개발
- 다결정 세라믹 섬광 특성 향상 및 소자화 기술 개발
2. 연구결과
- 박막의 픽셀화기술개발 및 특성평가 체계 구축
- CMOS Readout 회로 및 $128R{\times}128C$ CMOS ROIC 설계 및 개발
- PIN형 PD및 섬광체를 이용한 1차원 엑스선 센서 stacking기술 개발
- 센서모듈의 신호처리 보드 설계및 제작기술 확보
- 길이방향 30cm 이내의 센서 실용화모듈 개발 및 시험
- Activator와 Sensitzer를 이용한 다결정 세라믹의 특성제어 기술 확보
- 다결정 세라믹 섬광체의 모듈화 기술확립
3. 기대효과 및 활용방안
- 의료용 산업용 엑스선 검사장비에 널리 사용되고 있는 CCD를 대체할 수 있음
- 치과용 x-ray 영상진단시스템이나 파노라마 시스템, 악안면 진단시스템의 검출기에 응용가능
- 비파괴 검사 및 보안, 밀수 검색용 등 산업용 비파괴검사장비에 적용
- 차세대 방사선 검출기술인 hybrid검출기, 신개념의 photon counting기술에 적용함
- 방사선 센서 모듈을 구성하는 기능에 대한 IP확보를 통한 지적 재산권화 추진
- 저잡음 고성능 readout 칩 개발을 통한 다양한 방사선 센서 및 IR센서의 ROIC로 이용함
- CsI(Tl)이외의 다른 섬광체 물질이나 픽셀구조이외의 다양한 형태의 응용연구 유도

Abstract ▼

$\bigcirc$ Development of 2 dimensional high resolution xray sensor technology
- Pixelization of a thin film which used the pattened substrate and variables of the manufacturing process
- Evaluation of sensitivity and resolution by standard regulation
- Consideration of sensitivi

$\bigcirc$ Development of 2 dimensional high resolution xray sensor technology
- Pixelization of a thin film which used the pattened substrate and variables of the manufacturing process
- Evaluation of sensitivity and resolution by standard regulation
- Consideration of sensitivity and resolution by pixel dimension of scintillator
- Development of combining method of the scintillator and photosensor
- Development and design of CMOS Readout circuit
- Design and manufacture of $128R{\times}128C$ CMOS ROIC
$\bigcirc$ Development of one dimensional xray sensor practical module
- Design through the Silvaco Simulation
- Manufacture through the ETRI and characteristic evaluation
- One dimensional xray sensor stacking by using PIN type PD and scintillator
- Design and manufacture of signal processing board of the sensor module
- Development and test for practical module sensor of less than 30cm in length
$\bigcirc$ Development both enhancement of multi-crystal ceramic scintillation characteristic and sensor technology
- Control of multi-crystal ceramic`s characteristic through addition of Activator
- Control of multi-crystal ceramic`s characteristic through addition of Sensitizer
- Modulation of multi-crystal ceramic scintillator($1.5{\times}1.5{\times}10mm$)
- Mass production of multi-crystal ceramic scintillator(length30cm/pitch1.5mm=200ea)

목차 Contents

• 제 1 장 연구개발과제의 개요...14
• 제 1 절 연구개발의 목적 및 필요성...14
• 제 2 절 연구개발의 범위...16
• 제 2 장 국.내외 기술개발 현황...18
• 제 3 장 연구개발수행 내용 및 곁과...20
• 제 1 절 고분해능 이차원 엑스선 센서 핵심기술 개발...20
• 제 2 절 일차원 엑스선 센서 실용화 모듈 개발...107
• 제 4 장 연구개발 목표 달성도 및 관련 분야에의 기여도...156
• 제 5 장 연구개발결과의 활용계획...158
• 제 6 장 연구개발과정에서 수집한 해외 과학기술정보...159