최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국지질자원연구원 Korea Institute of Geoscience and Mineral Resources |
---|---|
연구책임자 | 김준곤 |
참여연구자 | 우형주 , 음철헌 , 김기동 , 최한우 , 이화련 , 박경완 , 신중훈 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2007-07 |
과제시작연도 | 2006 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국과학재단 Korea Science and Engineering Foundtion |
등록번호 | TRKO200700008553 |
과제고유번호 | 1350012609 |
사업명 | 방사선기술개발사업 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 실리콘 나노구조물.희토류.발광.이온주입.Silicon nanostructures.rare-earths.luminescence.Ion Implantation.PECVD.PLD. |
1. Fabrication of Rare-earth element doped silicon nano-structure:
- Fabrication of RE:SNS by ion implantation, PECVD and PLD.
- Optimum conditions for the fabrication of size-controllable silicon nano-structures with silicon-rich silicon oxide or silicon-rich silicon nitride: silicon contents
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.