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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국기계연구원 Korea Institute of Machinery and Materials |
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연구책임자 | 유재무 |
참여연구자 | 김영국 , 고재웅 , 이규환 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2007-06 |
과제시작연도 | 2006 |
주관부처 | 산업자원부 |
사업 관리 기관 | 한국산업기술평가원 |
등록번호 | TRKO200800000736 |
과제고유번호 | 1410054600 |
사업명 | 에너지자원기술개발 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
본 연구에서는 기존의 고배향 금속기판 및 완충층 제조 공정에 비하여 경제성이 우수하며 고속 성막이 가능한 공정기술을 개발하고자 하였으며 그 세부내용은 다음과 같다.
○ 전착법에 의한 고배향 금속 기판제조 기술 개발
- 이축집합도(biaxial texturing)가 8o이내인 기판제조
○ MOD 공정에 의한 완충층제조 기술 개발
- 이축집합도(biaxial texturing)가 8o이내인 완충층제조
○ 완충 기판의 장선화 기술 개발
- 30m급 완충층 및 기판 제조
In this research, new processing routes with economic superiority and high speed fabrication compared with conventional fabrication process for textured metal substrates and buffer layer. To achieve the research objectives, following works have been performed.
○ Fabrication of highly textured met
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