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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국기계연구원 Korea Institute of Machinery and Materials |
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연구책임자 | 이양래 |
참여연구자 | 임의수 , 김현세 , 김병덕 , 이성수 , 안태기 , 박진구 , 김태곤 , 이승호 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2007-08 |
과제시작연도 | 2006 |
주관부처 | 산업자원부 |
과제관리전문기관 | 에너지관리공단 Korea Energy Management Corporation |
등록번호 | TRKO200800000836 |
과제고유번호 | 1410030882 |
사업명 | 에너지자원기술개발 |
DB 구축일자 | 2015-01-08 |
(1차년도)
: 500 kHz급 횡파를 이용한 초음파장치 개발
- 500 kHz급 stainless steel transmitter
- 종파를 횡파로 변환하는 waveguide type
- 500 kHz급 종파 공진설계기술(공진주파수
Single wafer cleaning process has been developed for the next generation cleaning process. Commercial megasonic cleaning system has been used for the particle removal on the single wafer surface.
The effective sonic wave for the particle removal is longitudinal wave which is widely used in the co
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