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45nm 대응 메가소닉 세정 모듈 개발
Megasonic Cleaning Unit for 45nm Pattern Wafer 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 (주)듀라소닉
연구책임자 이희명
보고서유형중간보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2009-09
과제시작연도 2009
주관부처 지식경제부
사업 관리 기관 한국산업기술평가관리원 (중기청)
등록번호 TRKO201000010245
과제고유번호 1415099758
사업명 전자정보디바이스산업원천기술개발(반도체/디스플레이/LED ·광)
DB 구축일자 2013-04-18
키워드 쿼츠로드 메가소닉 유니트.진동자 음압분포.Damage-free Megasonic.Megasonic Transducer.Megasonic Generator.Uniformity Acoustics.Particle removal efficiency.Pattern damage.

초록

1차년도에는 ANSYS를 이용하여 쿼츠진동자의 음압전달에 대한 해석을 통하여 최적화하였으며 설계에 반영하는 연구를 수행하였다. 그리고 2MHz급 로드형 진동자와 메가소닉 발진기를 개발하고 이를 튜닝하였다. 또한 메가소닉 진동자의 성능을 테스트한 결과 제거율이 우수하며 패턴의 손상을 가지 않는 간접식 진동자를 개발하였다.

목차 Contents

  • 제출문 ...1
  • 진도보고서 ...2
  • Ⅰ. 당해연도 추진 현황 ...3
  • Ⅰ-1 기술개발 추진 일정 ...3
  • Ⅰ-2 당해연도 추진 실적 ...4
  • 1. 1차년도 추진실적 ...4
  • 1) 개발목표 / 실적 ...4
  • 2) 개발내용 및 성과 ...4
  • Ⅱ. 기술개발결과 ...9
  • Ⅱ-1 논문실적 ...9
  • Ⅱ-2 특허실적 ...9
  • Ⅱ-3 진동자 시작품 조립도면 ...10
  • Ⅲ. 결론 및 차년도 계획 ...11
  • Ⅳ. 사업비 사용현황 ...12
  • Ⅴ. 기업 재무건전성 현황 ...13

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

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