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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국기계연구원 Korea Institute of Machinery and Materials |
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연구책임자 | 박천홍 |
참여연구자 | 이후상 , 최대봉 , 박종권 , 송창규 , 황주호 , 노승국 , 정재호 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
사업 관리 기관 | 한국기계연구원 Korea Institute of Machinery and Materials |
등록번호 | TRKO200800001921 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
본 연구의 목표는 다음과 같다. 전자빔응용가공기용 5축 stage 개발 - 반복정밀도 ±0.5㎛이내, 직선 3축+회전 2축 - 진공내 stage 구동기술 확보 Nan 소자가공시스템용 초정밀 stage 설계/제작기술 확립 - 미소분해능 10nm, 반복정밀도 ±50nm이내의 초정밀이송계 - Stage의 국산화 설계/제작기술 확립 - 고속/초정밀 stage mechanism 설계기술 확립 초정밀 stage 자세보정용 3축 미동기구 기본설계 기술 확립
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