초록 ▼

당해 연구과제는 경도 HV4,000이상 밀찰력 70N이상의 특성을 갖는 고품위 초경질 BN계 신박막 물질 합성기술을 개발하고, 이 합성기술의 양산화를 구현하여, 반도체공정 장비에 있어 핵심기술의 하나인 ESC 생산기술과 접목함으로서 ESC 생산기술의 국산화를 달성하여 ,전량 수입에 의존하여 오던 ESC를 국내생산 공급함으로써 ESC 납품단가를 낮추어 반도체 공정에서의 소자 생산단가를 개선하고, 관련 기술의 이전을 통하여 반도체 생산 기술의 향상을 목표로 하였다. 연구개발 내용으로서는 고진공 형성 기술, 고밀도 플라즈마 제어기술을 집

당해 연구과제는 경도 HV4,000이상 밀찰력 70N이상의 특성을 갖는 고품위 초경질 BN계 신박막 물질 합성기술을 개발하고, 이 합성기술의 양산화를 구현하여, 반도체공정 장비에 있어 핵심기술의 하나인 ESC 생산기술과 접목함으로서 ESC 생산기술의 국산화를 달성하여 ,전량 수입에 의존하여 오던 ESC를 국내생산 공급함으로써 ESC 납품단가를 낮추어 반도체 공정에서의 소자 생산단가를 개선하고, 관련 기술의 이전을 통하여 반도체 생산 기술의 향상을 목표로 하였다. 연구개발 내용으로서는 고진공 형성 기술, 고밀도 플라즈마 제어기술을 집약한 초경질 BN박막 합성을 위한 공정장치기술과 공정장치 운용을 통한 경도 HV 4,000이상 밀착력 40N 이상의 고품위 초경질 BN계 신박막 재료 합성 기술(여기에는 증착기술과 In-situ 이온주입기술의 공정복합화, differential bias 제어기술, 제 3원소 혼합박막 제조 기술의 노하우가 집약되어 있음), 대면적 균일 증착기술, ESC 설계 및 제작기술, 유전체 코팅기술, ESC 특성 평가용 장치 및 운용 기술 등을 포함하는 초경질 BN 코팅된 세라믹 ESC의 양산기술이 포함 되어 있다. 이러한 기술을 바탕으로 양산기술 확립을 위한 pilot plant 규모의 초경질BN박막 합성용 공정장치 설계 제작하여 본격적인 양산 기술 개발에 주력하였으며, 4차년도에는 BN박막이 코팅된 세라믹 ESC의 국산호 개발을 위해 BN코팅이 적용된 세라믹 ESC 시제품 개발을 시도하여 소정의 결실을 거두었다.

Abstract ▼

The investigation in this phase was carried out to solve typical problems in BN film synthesis and to realize the application of this film to the commercial products. Hybrid deposition method was developed to improved the adhesion of BN film and to get available film thickness. In this development,

The investigation in this phase was carried out to solve typical problems in BN film synthesis and to realize the application of this film to the commercial products. Hybrid deposition method was developed to improved the adhesion of BN film and to get available film thickness. In this development, several techniques were implemented as follows,
1.post treatment of ion implantation
2.addition of third element
3.multi-layer deposition
4.application of reduced bias
In application of BN material to ceramic cutting tools, a few technical bottle-necks exist. Therefore, the electro-static chuck(ESC) was adopted as an alternative application item in this work. Since this is one of the core parts in semicondyctor fabrication equipments, our application of Bn film on ESC will contribute to the reduction of production cost of device manufacturing and this technology can be used to help the domestic production of ESC.

목차 Contents

• 제1장 서론 ... 20
• 제2장 국내외 기술개발 현황 ... 22
• 제1절 초경질 BN 박막 연구동향 ... 22
• 제2절 국내외 연구동향 ... 22
• 제3절 조사연구개발사례에 대한 평가 ... 25
• 제3장 연구개발수행 내용 및 결과 ... 32
• 제1절 초경질BN박막 코팅용 양산장치 개발 ... 32
• 제2절 세라믹 절삭공구상의 BN 코팅 공정기술 개발 및 시제품 개발 ... 58
• 제3절 BN박막 코팅된 세라믹 정전척 시제품 개발 ... 115
• 제4장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 175
• 제5장 연구개발결과의 활용계획 ... 179
• 제6장 연구개발과정에서 수집한 해외과학기술정보 ... 180
• 제7장 참고문헌 ... 183