초록 ▼

Self-assembled array of nucleant를 사용한 고밀도의 silicon quantum dot array 의
생성
마이셀을 이용하여 3차원으로 균일하게 배열된 nanoporous thin film을
제작하였다. 마이셀을 이루는 surfactant의 분자량과 외부의 전기장에 따라
구조가 변하는 것을 학인하였고 전하를 가지는 surfactant를 이용하여 기존에
보고된 것에 비하여 규칙성이 매우 향상된 박막을 제작할 수 있었다.
또한 마이셀을 가지고서 실리콘 웨이퍼 위의 2차원 균일한

Self-assembled array of nucleant를 사용한 고밀도의 silicon quantum dot array 의
생성
마이셀을 이용하여 3차원으로 균일하게 배열된 nanoporous thin film을
제작하였다. 마이셀을 이루는 surfactant의 분자량과 외부의 전기장에 따라
구조가 변하는 것을 학인하였고 전하를 가지는 surfactant를 이용하여 기존에
보고된 것에 비하여 규칙성이 매우 향상된 박막을 제작할 수 있었다.
또한 마이셀을 가지고서 실리콘 웨이퍼 위의 2차원 균일한 패턴 형성에
대한 연구를 수행하였고 이를 이용하여 자성물질을 증착하여 고밀도 자성
박막을 제작하였다. 이 자성박막의 자성특성을 확인하였고, 자성을 띄는
원인에 대한 연구가 수행되었다.
Si/&SI_2& 다층박막에 Ni을 도핑함으로써 나노 결정의 결정화가
촉진되어지는 것을 연구하였다. 이는 니켈이 효율적인 발광특성을 지니고
있는 나노결정의 nucleant 임을 확인하였고, Si nanocrystal memory로서의
응용에 대한 연구를 진행하였다.
-Nanoporous Thin Film
Ahn CW, Rasing T, Kim MW, Applied Physics Letters, 83, 3492, (2003)
S. Y. Kwon, and M.W. Kim, Physical Review Letter, 89, 258302 (2002)
-Magnetic Thin Films Using Diblock Copoloymer Templates
J. R. Jeong, M. C. Choi, M. W. Kim, and S. C. Shin, Physica Status Solid
B-Basic Reseach, 241, 609 (2004)
-Silicon Quantum Dot Array and Si Nanocrystal Memory
D. Cha, J. H. Shin, I. H. Song, and M. K. Han, Applied Physics Letters, 84,
1287 (2004)
H. Huh, H. Kim, D. Youm, and J. H. Shin, Electrochemical and Solid-State
Letters, 6, g88 (2002)
H. Huh, J. H. Shin, Applied Physics Letters, 79, 3956 (2001)
신중훈, 허황, 다결정 실리콘 박막 제조방법, 01-2002-0006510 (2002. 2. 5.)

Abstract ▼

Fabrication of high-density silicon quantum dot array using self-assembled array
of nucleant
We made the nanoporous thin film, consisting ordered periodic arrays
of spheres, or cylinders in 3D. We could be controlled by changing the
molecular weight, applied electric field, and, charges

Fabrication of high-density silicon quantum dot array using self-assembled array
of nucleant
We made the nanoporous thin film, consisting ordered periodic arrays
of spheres, or cylinders in 3D. We could be controlled by changing the
molecular weight, applied electric field, and, charges on micelles. Thus we
could enhance the ordering in thin film by doping charges on micelles.
We studied the formation of uniform 2D pattern using micelles, and
deposited magnetic film on the 2D pattern. So, we could made highly
ordered magnetic thin films and investigated the origin of magnetic
properties.
For an effective method to make silicon quantum dot array, Ni doping
helped nanocrystalization fo Si/SiO2 multilayer thin film. This film shows
good luminascence characteristics and Ni was found to be a nucleant to
promote nanocrystalization. And we studied the application as Si
nanocrystal memory.
-Nanoporous Thin Film
Ahn CW, Rasing T, Kim MW, Applied Physics Letters, 83, 3492, (2003)
S. Y. Kwon, and M.W. Kim, Physical Review Letter, 89, 258302 (2002)
-Magnetic Thin Films Using Diblock Copoloymer Templates
J. R. Jeong, M. C. Choi, M. W. Kim, and S. C. Shin, Physica Status Solid
B-Basic Reseach, 241, 609 (2004)
-Silicon Quantum Dot Array and Si Nanocrystal Memory
D. Cha, J. H. Shin, I. H. Song, and M. K. Han, Applied Physics Letters, 84,
1287 (2004)
H. Huh, H. Kim, D. Youm, and J. H. Shin, Electrochemical and Solid-State
Letters, 6, g88 (2002)
H. Huh, J. H. Shin, Applied Physics Letters, 79, 3956 (2001)
신중훈, 허황, 다결정 실리콘 박막 제조방법, 01-2002-0006510 (2002. 2. 5.)

목차 Contents

• Ⅰ. 연구계획 요약문...3
• 1. 국문요약문...3
• Ⅱ. 연구결과 요약문...4
• 1. 국문요약문...4
• 2. 영문요약문...5
• Ⅲ. 연구내용...6
• 1. 서론...6
• 2. 연구방법 및 이론...8
• 3. 결과 및 고찰...37
• 4. 결론...37
• 5. 인용문헌...38