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NTIS 바로가기주관연구기관 | 성균관대학교 SungKyunKwan University |
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연구책임자 | 정덕영 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2002-10 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국과학재단 Korea Science and Engineering Foundtion |
등록번호 | TRKO200900069651 |
사업명 | 기초과학연구사업>지역대학우수과학자 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 박막합성.산화물 박막.미세접촉인쇄.자기조립단분자막.미세 패턴닝.졸-젤 합성.화학용액증착.thin-film.oxides film.micro contact printing.micro contact printing monolayer.micro-patterning.sol-gel method.chemical solution chemical solution. |
자기조립 단분자막을 표면변환 물질로 사용하고 고분자도장을 사용하여 유기박막을 기판 표면에 미세패턴으로 인쇄하고 이 기판에 여러 가지 증착 방법을 적용하여 산화물, 황화물 조성의 박막을 에칭 공정 없이 미세 패턴닝한다. 또한 복합적인 구조를 갖는 박막을 합성하기 위해 유기분자막을 인쇄하고 증착하는 과정을 반복하여 다층박막을 구현한다. 자기조립 단분자막(Self-assembled monolayers, SAMs)은 미세접촉인쇄를 포함하는 마이크로 공정에 용이하게 응용할 수 있으며 PDMS 고분자 도장을 사용하여 자기조립 단분자막을 기판에
The micro patterned thin films of oxides and sulfides were obtained by combining the micro contact printing method and various thin film deposition techniques. The printing method utilizes the micro-patterned PDMS stamps obtained and OTS-SAM "ink" to drive the different surface properties to result
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