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NTIS 바로가기주관연구기관 | 연세대학교 Yonsei University |
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연구책임자 | 박승한 |
참여연구자 | 임상엽 , 최문구 , 김건식 , 이현호 , 유장훈 , 채규민 , 오승일 , 정영준 , 양재석 , 정은희 , 김대근 , 이재훈 , 황택용 |
보고서유형 | 1단계보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2004-12 |
과제시작연도 | 2004 |
주관부처 | 과학기술부 |
과제관리전문기관 | 한국과학재단 Korea Science and Engineering Foundtion |
등록번호 | TRKO200900069746 |
과제고유번호 | 1350011082 |
사업명 | 국가지정연구실사업 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 비선형 광학 측정.레이저.레이저 분광.레이저 계측.비선형 나노분광.nonlinear optics.laser.laser spectroscopy.laser metrology.nanophotonics. |
1. 나노 탐침 Slide 제작
. 나노 탐침 슬라이드를 표준적인 Si 공정을 이용하여 창의적이로 고안, 제작함
. 100nm 정도의 나노 개구와, 시료를 올려놓을 수 있는 30nm 두께의 고강도
. 기존 근접장 광학 현미경의 거리조절장치를 사용하지 않고도 근접장 광검출이 가능함
2. 단일 탐침 Slide/Tapered Optical Fiber Probe Interconnection
. 광섬유 탐침과 나노 탐침 슬라이드를 근접장 영역에 접
10ps/100nm temporal and spatial high resolution nonlinear optical characteristic measurement technology development
. Novel design and development of single probe slide and Array (5
. Analysis of 100nm probe array slide characteristics (SEM &
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