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[국가R&D연구보고서] 시공간 고분해능 대면적 비선형 광학 측정 및 계측 기술
Research on Temporal& Spatial High Resolution Nonlinear Optical Measurement Techniques 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 연세대학교
Yonsei University
연구책임자 박승한
참여연구자 임상엽 , 최문구 , 김건식 , 이현호 , 유장훈 , 채규민 , 오승일 , 정영준 , 양재석 , 정은희 , 김대근 , 이재훈 , 황택용
보고서유형1단계보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2004-12
과제시작연도 2004
주관부처 과학기술부
과제관리전문기관 한국과학재단
Korea Science and Engineering Foundtion
등록번호 TRKO200900069746
과제고유번호 1350011082
사업명 국가지정연구실사업
DB 구축일자 2013-04-18
키워드 비선형 광학 측정.레이저.레이저 분광.레이저 계측.비선형 나노분광.nonlinear optics.laser.laser spectroscopy.laser metrology.nanophotonics.

초록 ▼

1. 나노 탐침 Slide 제작
. 나노 탐침 슬라이드를 표준적인 Si 공정을 이용하여 창의적이로 고안, 제작함
. 100nm 정도의 나노 개구와, 시료를 올려놓을 수 있는 30nm 두께의 고강도 $Si_3N_4$ 나노 슬라이드로 구성되어 있음
. 기존 근접장 광학 현미경의 거리조절장치를 사용하지 않고도 근접장 광검출이 가능함
2. 단일 탐침 Slide/Tapered Optical Fiber Probe Interconnection
. 광섬유 탐침과 나노 탐침 슬라이드를 근접장 영역에 접

Abstract ▼

10ps/100nm temporal and spatial high resolution nonlinear optical characteristic measurement technology development
. Novel design and development of single probe slide and Array (5$\times$5) Slide ($\leq$100nm
. Analysis of 100nm probe array slide characteristics (SEM &

목차 Contents

  • 제1장 연구개발 과제의 개요...12
  • 제1절 연구 개발의 필요성...12
  • 제2절 연구 개발의 내용 및 범위...17
  • 제2장 국내외 기술개발 현황...21
  • 제1절 국외 기술개발 현황...21
  • 제2절 국내 기술개발 현황...22
  • 제3장 연구개발 수행내용 및 결과...23
  • 제1절 신기능성 $Si_3N_4$ 탐재 탐침 Slide의 설계 및 제작...23
  • 제2절 10ps/100nm 시공간 고분해능 비선형 광특성 측정 시스템...25
  • 제3절 단일 탐침/ Tapered Optical Fiber Probe Interconnection...32
  • 제4절 Nonlinear Kerr Film의 비선형 특성 연구 및 분석...33
  • 제5절 금속/반도체 복합 나노 입자 제조 및 특성 분석...39
  • 제6절 근접장 위상천이 간섭계 개발...43
  • 제4장 연구목표 달성도 및 관련분야에의 기여도...46
  • 제1절 연구목표 달성도...46
  • 제2절 관련분야 기여도...47
  • 제5장 향후 연구개발 계획 및 활용계획...50
  • 제1절 향후 연구개발 계획...50
  • 제2절 연구결과의 활용 가능 분야...52
  • 제6장 연구개발과정에서 수집한 해외과학기술정보...53
  • 제7장 참고문헌...56

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

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