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OLED공정용 초정밀 검사장비를 위한 오차 저감기술개발
Development of High precision system for inspection 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국생산기술연구원
Korea Institute of Industrial Technology
연구책임자 최현석
참여연구자 양기훈 , 나소정
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2017-12
과제시작연도 2017
주관부처 과학기술정보통신부
Ministry of Science and ICT
등록번호 TRKO201800036746
과제고유번호 1711062989
사업명 한국생산기술연구원연구운영비지원
DB 구축일자 2018-08-04
키워드 이중서보.보상 제어기.선형모터.압전구동기.유연힌지관절.Dual servo.Conpensator controller.Linear motor.Flexure hinge joint.PZT actuator.
DOI https://doi.org/10.23000/TRKO201800036746

초록 ▼

제 1장 개요
제 1절 연구개발(지원) 목표
OLED 유기박막증착용 대면적 FMM의 홀픽치 검사를 위한 반복 정밀도 500nm 수준의 고정밀도 검사장비 구현 기술 개발
○ OLED용 대면적 FMM을 위한 이미지 기반의 고정밀 검사 기술
○ 이중 서보 메커니즘을 이용한 고정밀 스테이지 기술 개발
○ 구조 및 열에 의한 오차 저감을 위한 초정밀 기구 설계 기술
◦ 이중 서보 메커니즘을 이용한 고정밀 스테이지 기술 개발
- 이중 서보 메커니즘을 활용한 대면적-고정밀 이송 메커니즘 구현 기술 개발

목차 Contents

  • 표지 ... 1
  • 제출문 ... 2
  • 기관주요사업 연구보고서 ... 3
  • 지원 사례 요약 ... 4
  • 목차 ... 6
  • 제 1장 개요 ... 7
  • 제 1절 연구개발(지원) 목표 ... 7
  • 제 2절 연구개발(지원)의 필요성 ... 8
  • 제 3절 당해연도 연구개발(지원) 범위 ... 10
  • 제 2장 연구수행(지원) 내용 및 결과 ... 11
  • 제 1절 연구개발(지원) 추진 체계 ... 11
  • 제 2절 당해연도 연구수행(지원) 내용 ... 14
  • 제 3절 당해연도 연구개발(지원) 결과 ... 28
  • 제 3장 수요기업 성과활용 ... 30
  • 제 1절 수요기업의 성과 활용 내용 ... 30
  • 제 5장 참고문헌 ... 31
  • 끝페이지 ... 33

표/그림 (15)

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참고문헌 (25)

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