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NTIS 바로가기주관연구기관 | 포항공과대학교 Pohang University of Science and Technology |
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연구책임자 | 이진원 |
참여연구자 | 김동식 , 이민영 , 이상민 , 이강수 , 조성구 , 장덕석 , 최선락 , 홍종간 |
보고서유형 | 3단계보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2005-05 |
과제시작연도 | 2004 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국과학재단 Korea Science and Engineering Foundtion |
등록번호 | TRKO200900072191 |
과제고유번호 | 1350012816 |
사업명 | 나노바이오기술개발 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 에너지빔.입자빔.나노입자.제거기술.초음속팽창.레이저충격파.energy beam.particle beam.nano particle.cleaning.supersonic expansion.laser shock wave. |
본 연구는 나노제품의 제조시에 필연적으로 요구되는 오염입자 제거기술의 개발을 위한 기초연구로서,현재 습식기술을 바탕으로100nm 수준에 머물러 있는 현 기술수준을 불연속적 충격을 이용하는 건식기술을 바탕으로 하여 10nm 수준으로 개선하고자 하는 새로운 기술개발의 기초연구이다.
레이저충격파에 의한 에너지빔과 고속의 증발성 입자빔으로 표면부착된 입자를 가격하여 제거하는 신기술로서,에너지빔과 입자빔의 발생기술에서 시작하여,에너지빔/입자빔과 표면부착 입자와의 충돌 및 탈착과정 해석, 그리고 에너지빔과 입자빔을 이용한 제거 실험까지
Research scope encompasses the settling of proper conditions to clean nano particles, generation of energy/particle beams satisfying these conditions, and experimental performance verification of the developed techniques. Also involved in the activities are theoretical and numerical techniques to an
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