최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기주관연구기관 | 포항공과대학교 Pohang University of Science and Technology |
---|---|
연구책임자 | 이진원 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2016-11 |
과제시작연도 | 2015 |
주관부처 | 미래창조과학부 Ministry of Science, ICT and Future Planning |
등록번호 | TRKO201700014320 |
과제고유번호 | 1711029402 |
사업명 | 신진연구자지원 |
DB 구축일자 | 2017-11-25 |
키워드 | 나노오염제어.초음속 입자빔.나노가공.nano-contamination.supersonic-particle-beam.nano-fabrication. |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201700014320 |
1. 5nm 오염제거의 이론적 분석
- MD simulation을 통하여 5nm 제거의 가능성 및 필요조건 확인
- 평판 및 나노 trench 내의 5nm 오염입자 제거과정 MD simulation 확인
2. 5nm 오염제거 기본기술 개발
- shock 통과시 탄환입자의 크기변화 분석
- 수 nm 크기의 초음속 탄환입자 생성기법 개발
- 5nm 오염제어를 위한 최적노즐 개발
3. 5nm 오염제거 성능 실험적 확인
- 평판상 5nm 오염입자 완벽제거 확인
- multi-nozzle 사용
1. Theoretical analysis on the feasibility of 5nm contamination control
- feasibility and the required condition for 5nm removal confirmed by MD simulation
- detailed procedure of 5nm removal on flat surfaces and also inside nano trenches confirmed by MD simulation
2. Techniques for 5nm cle
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.