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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국과학기술연구원 Korea Institute Of Science and Technology |
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연구책임자 | 김진상 |
참여연구자 | 김영환 , 정연식 , 안세영 , 정용철 , 서대원 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2004-08 |
과제시작연도 | 2003 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국산업기술평가원 |
등록번호 | TRKO200900073127 |
과제고유번호 | 1350008346 |
사업명 | 민군겸용기술개발 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 적외선 검출기.감지능.판독회로.열영상.하이브리드본딩.IR detector.Detectivity.Readout circuit.Thermal image.Hybrid bonding. |
o 고성능 적외선 센서용 HgCdTe 에피 박막 성장 기술 개발 - 금속 유기화합물 화확증착법으로 GaAs 기판위에 양질의 HgCdTe 성장공정 개발 - 기판의 표면처리를 통한 hillock 밀도 제어 및 As, I 도핑을 통한 p/n 접합 성장 공정 개발 - 중 원 적외선 동시 검출을 위한 4층 구조의 박막성장공정을 개발 o 적외선 감지 소자 공정 개발 - 64x2 적외선 선형 어레이 제작 공정 개발 및 특성 개선 - 적외선 감지능 (D*) : 3.6x
The Key points of this research program are - Development of high quality of HgCdTe epi layer on GaAs substrate for infrared detector by using a MOVPE (Metal Organic Vapor Phase Epitaxy) process. - Processing of photo voltaic diodes using well-controlled etching and passivating technique. This techn
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